エスオーエル株式会社 ロゴエスオーエル株式会社

最終更新日:2017-12-25 14:07:42.0

  • 製品カタログ
  •  

自動ウェーハ平面度測定機【UltraSort2】製品カタログ

基本情報自動ウェーハ平面度測定機【UltraSort2】製品カタログ

カタログ発行日:2017/12/20

1時間で150枚の高速測定!自動ウェーハ平面度測定の定番【UltraSort】

■自動ウェーハ平面度測定の定番、
【UltraSort】シリーズの最新モデル。

■1時間で150枚の吸着・非吸着測定を完了。
厚みを同時に測定する場合でも、
1時間で120枚の高速測定を実現します。

■カセットは標準で4個搭載。オプションで
8個、12個、16個まで増設できます。
その他柔軟なカスタマイズが可能です。

■【FlatMaster】シリーズと同じ
斜入射干渉計を採用。
同等の高精度を保証します。

ウェーハ自動平面度測定機『UltraSort2』【業界標準機!】

ウェーハ自動平面度測定機『UltraSort2』【業界標準機!】 製品画像

UltraSort2はサファイアウェーハなど、化合物半導体業界を中心に標準機として10年以上歴史のあるUltraSortの後継機で、ウェーハの平面度を自動で測定する干渉計タイプの装置です。ウェーハを水平置きで測定するため、露光時と同じ状態を再現可能です。

<特長>
・高スループットで、量産現場に最適
・ご要望に合わせた柔軟な仕様選択肢
・ロボットと、測定部の干渉計を同じソフトで制御しているためサポートが安心 (詳細を見る

価格帯 5000万円以上 1億円未満 納期

取扱会社 自動ウェーハ平面度測定機【UltraSort2】製品カタログ

エスオーエル株式会社

平面度測定機、三次元測定機、X線CT寸法測定機の販売,輸出入,アプリケーション開発,技術サポート,および保守サービス業務

自動ウェーハ平面度測定機【UltraSort2】製品カタログへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度[必須]

ご要望[必須]


  • あと文字入力できます。

目的[必須]

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

エスオーエル株式会社

自動ウェーハ平面度測定機【UltraSort2】製品カタログ が登録されているカテゴリ

開く


キーマンインタビュー