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最終更新日:2018/03/08

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角型ゲート/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3

基本情報角型ゲート/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3

半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。

-real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化
-パーティクルフリー、ショックフリー
-シール材に合わせてシール力を調整可能
-低ショック

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION 製品画像

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。
-real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化
-サービスカバーからの簡単なメンテナンス
-開または閉位置での圧空ロック機構
-パーティクルフリー、ショックフリー
-シール材に合わせてシール力を調整可能
-低ショック (詳細を見る

取扱会社 角型ゲート/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3

VAT株式会社

スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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