コントロールアングルバルブ　SERIES 62.0

基本情報コントロールアングルバルブ　SERIES 62.0

縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での圧力制御および真空封止用バルブ。

-自動学習機能
-閉時間1秒
-短い制御応答時間
-簡易メンテナンス
-200℃までベーク可能（任意）
-EtherCAT

スイスVAT社　高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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