卓上型蒸着装置『Mebius』

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

『Mebius』は、学生向けの実験や教材作りに適した、コンパクトな
蒸着装置です。

電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能。

チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを
搭載可能です。

【概要】
■蒸発源はタングステンボート2個搭載
■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ
■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、大気圧から高真空まで連続した
　圧力表示が可能
■マグネット駆動式基板シャッタ装備
■停電時は装置動作自動中断、非常停止スイッチも装備

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。