比類なき高視野・高分解能な干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡（視野域：３０ｘ５０ｍｍ）干渉型３Ｄレーザ顕微鏡

レーザ走査を用いた初めての干渉計測
　光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nｍの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7000）
　　サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
　　走査範囲は30ｍｍ×50ｍｍ、モニター上で拡大観察可能
　　セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
　　干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7500）
　　円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-8000）
　　非接触で微細な干渉縞計測可能。
　　交換レンズは、5ｍｍ、10ｍｍ、26ｍｍ走査レンズ、特注可能
　　通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます

これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ　3D‐レーザ走査イメージャ
5×50ｍｍの範囲を３Ｄ形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です　　　 （詳細を見る）

超広視野共焦点型・高分解能１μｍ、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる　計測時間：１μｍ分解能 約３５秒　5μｍ分解能 約１０秒　●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。　●キズや深い穴の欠陥も検出可。

レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス
・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です
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