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最終更新日:2018/03/08

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バタフライコントロールシステム SERIES 61.2

基本情報バタフライコントロールシステム SERIES 61.2

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。CVDなどの特に高速で高度なプロセスに最適。

-優れた圧力制御能力
-サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出)
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)
-コンタミの多いプロセスへの優れた適応性

バタフライコントロールシステム Series 61.2

バタフライコントロールシステム Series 61.2 製品画像

-優れた圧力制御能力
-サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出)
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)
-コンタミの多いプロセスへの優れた適応性 (詳細を見る

取扱会社 バタフライコントロールシステム SERIES 61.2

VAT株式会社

スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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