バタフライコントロールシステム　SERIES 61.2

基本情報バタフライコントロールシステム　SERIES 61.2

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。CVDなどの特に高速で高度なプロセスに最適。

-優れた圧力制御能力
-サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出）
-サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
-コンタミの多いプロセスへの優れた適応性

-優れた圧力制御能力
-サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出）
-サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
-コンタミの多いプロセスへの優れた適応性（詳細を見る）

スイスVAT社　高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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