振子式バルブコントロールシステム　SERIES 65.0

基本情報振子式バルブコントロールシステム　SERIES 65.0

SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ。特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適。

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作
-極めて短い制御応答時間
-サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用）

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作
-極めて短い制御応答時間
-サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用) （詳細を見る）

スイスVAT社　高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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