テルモセラ・ジャパン株式会社の会社ロゴ画像ですテルモセラ・ジャパン株式会社

最終更新日:2018-06-08 01:40:03.0

  • 製品カタログ
  •  

SiC3コーティング グラファイト部品

基本情報SiC3コーティング グラファイト部品

カタログ発行日:2018/06/08

立方晶窒化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カーボン

短納期! 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC(立方晶窒化珪素)コーティングカーボン部品。
MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。
※長寿命、密着性・均一性に優れたウエハートレーを短納期で販売致します。

【特長】
■『短納期!』 最短納期(形状・数量・ご要望仕様協議の上納期回答申し上げます)
■高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
■脱ガス量、発塵量や不純物量を低減
■密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい
■コーティング厚(*ご要望承ります):最薄20μm〜最厚120μm
■膜厚均一性(*100μmの場合):最小誤差:±5μm 〜 最大誤差:±10μm
■微細形状にもコートが可能:*例)Φ1mmホール x 深さ5mmブラインドホールへのコートも可能
■粗い表面処理から鏡面処理まで、ご要望により多彩な仕上り調整が可能です。

【セラミック・トップ・ヒーターMax1800℃】1〜12inch

基板加熱ヒーター(AlN)の製品画像です

基板加熱ヒーター (窒化アルミプレート)Max 1800℃
対応可能サイズ 1〜12inch用、及び最大φ800まで

ヒーターエレメント:NiCr線(標準)、トッププレート材質:AlN(窒化アルミ)を採用した超高温・加熱効率に優れた成膜実験・製造装置用超高温基板加熱ヒーター(真空ホットプレート)です。(詳細はカタログダウンロードからお問合せ下さい。)
プロセス条件により、多種類のヒーター素線・材料を選択可能。
AlN以外に、石英プレート、インコネルプレートも製作可能 (詳細を見る

【ホットステージ】超高温基板加熱ユニット Max1800℃

ホットステージ【基板加熱機構】

半導体、電子基板、真空成膜プロセス装置・研究開発用【超高温基板加熱機構】
対応基板サイズ:2〜12inch
真空(UHV可能)・不活性ガス・O2・各種プロセス反応性ガス雰囲気等でご仕様いただけます。(詳細別途協議) (詳細を見る

【円筒状】グラファイト/CCコンポジット/NiCrヒーター

円筒状ヒーターユニット

ヒーター外周側への高温加熱、もしくは円筒内部への局部高温加熱など。
ご指定の仕様にて都度製作致します。
* 従来の金属ヒーターでは不可能だった高温領域が必要なアプリケーションに応用検討下さい。 (詳細を見る

◉MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハー焼成炉2200℃

MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハーアニール炉 製品画像

◉Max2200℃(真空中1x10-5Torr, N2, Ar)
◉WCF使用雰囲気:真空・不活性ガス(カーボン炉)
◉WMF使用雰囲気:真空・不活性・還元ガス(メタル炉)
◉試料台サイズφ2inch〜φ8inch
◉特注ウエハーホルダ(ウエハートレー)製作可能
◉SiC・GaNデバイス基礎研究、新素材・新材料開発、及びその他先端基礎技術開発部門で活用いただけます。 (詳細を見る

「研究開発用超高温実験炉シリーズ」製品ダイジェスト

「研究開発用超高温実験炉シリーズ」製品ダイジェスト

研究開発分野向け、各種実験装置を紹介します。
◉ MiniLab-CF/MF超高温小型実験炉 Max2900℃
◉ MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハー焼成炉 Max2200℃
その他、特注で研究開発用高温炉を設計製作致します。
・縦型/横型炉
・エピタキシャル炉
他 (詳細を見る

BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1600℃

Φ1inch BHヒーター製品写真

3種類のサイズ(Φ1, 2, 4inch)3種類のヒーター素線材質(NiCr, Kanthal, Tantalum)に限定して標準化、部品在庫を持つことにより短納期・安価な価格を実現しました。
大学実験室・研究機関に限定した数量限定の製品です。

【特徴】
● 予備ヒーター素線との交換が容易
● 取り扱いが簡単(M6スタッドボルト、支柱)

【標準付属品】
● 熱電対:K素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き(*C, Rの場合は別売)
● 取付用スタッドボルト

【オプション】
● 標準外素線も用意しております(W, Nb, Mo, Pt/Re, WRe)
● 取付ブラケット
● ホルダー設置用タップ穴加工 (詳細を見る

価格帯 10万円以上 50万円未満 納期

【クリーン・テント】

クリーン・テント

収縮式簡易クリーンルーム「Clean Tent」
(開発元Moorfield Nanotechnology社)
短時間(最短30分!)で容易に施工が可能。
テント本体は畳んで専用バッグに収納、撤収持ち運びが簡単。 (詳細を見る

取扱会社 SiC3コーティング グラファイト部品

テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター(1〜12inch) 2. R&D用真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空用熱電対 6. 真空コンポーネント

SiC3コーティング グラファイト部品へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度[必須]

ご要望[必須]


  • あと文字入力できます。

動機[必須]

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

テルモセラ・ジャパン株式会社


  • スペーサーの調達ならヒロスギネット 金属・樹脂スペーサー、ピンヘッダーなど全80,000品
  • 必要なときだけ!検査機器レンタルサービス

最近チェックした情報

クリップ

気になる製品・カタログ・企業などがあったらクリップに保存しておくと便利です。

  • キーマンインタビュー