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最終更新日:2018/06/01

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CVD装置解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

基本情報CVD装置解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

Particle-PLUSは粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算は
もちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』 製品画像

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1週間以内

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな事例に対応◆
・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション
・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション
・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE )
・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション

などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1週間以内

自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』

自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期

自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』

自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期

アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』

アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、重点メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな事例に対応◆
・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション
・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション
・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE )
などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1週間以内

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト 製品画像

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。
希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、
有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。
お客様のニーズに合わせた対応も可能です。

【ラインナップ】
《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》
■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応
■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能

《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》
■低圧のプラズマシミュレーションが可能
■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに

この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、
プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1週間以内

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1ヶ月以内

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

価格帯 お問い合わせください 納期 1ヶ月以内

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した
シミュレーションソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp (詳細を見る

価格帯 お問い合わせください 納期 1ヶ月以内

CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』

CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した
シミュレーションソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp (詳細を見る

価格帯 お問い合わせください 納期 1ヶ月以内

スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』

スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・点火プラグ(スパークプラグ)
・遮断機
・大気圧放電
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』

点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・点火プラグ(スパークプラグ)
・遮断機
・大気圧放電
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな事例に対応◆
・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション
・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション
・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE )
・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション

などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1週間以内

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1ヶ月以内

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』 製品画像

【特長】
■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな事例に対応◆
・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション
・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション
・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE )
・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション

などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子(原子)交換反応計算
・GUI 上で,複数の反応式を設定も可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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価格帯 100万円以上 500万円未満 納期 1週間以内

取扱会社 CVD装置解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

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株式会社ウェーブフロントの企業理念は、 日本の製造業における研究開発~設計~製造~メンテナンスまでのプロセスをシミュレーションという観点からサポートし、 企業活動の高度化・効率化に寄与することです。 弊社ではこの企業理念の下、 CAEと設備資産管理、 信頼性に関するソリューションを提供しています。 CAEの分野では流体解析からマルチフィジックス解析まで各種シミュレーションソフトウェアと これに関連するプリプロセッサ・ポストプロセッサを、設備資産管理の分野では、各種の装置・設備のメンテナンス管理ソフトウェアを、機能安全・信頼性の分野では故障率のコンサルティングからツールの提供まで一貫したサービスを行っています。

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