常温吸着式精製装置

精製装置のパイオニア・日本パイオニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った
多彩な技術で開発した“VPシリーズガス精製装置”は、究極の純度と、
環境・安全に配慮した製品創りを追求し、「安心」と「信頼」を提供します。

【特長】
・当社が開発した独自の触媒によりガスの高純度精製が可能です。

・精製系列の切換は、原料ガスの流量および不純物濃度に適応した最適な
　系列切換時間を設定できます。

・精製ガスの流量積算値による系列切換もできますので、低流量で使用した場合は
　系列切換時間が延びるため、省エネとなります。

・省設置スペースを実現しました。

・メンテナンススペースは装置正面と背面を基本とし、装置側面は密着設置ができます。
　（但し、耐震金具用のスペースは必要です。）

・各規格に対応（SEMI、ASME、ML等）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）