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最終更新日:2018-06-28 15:11:52.0

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テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

基本情報テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

4インチ、6インチウェーハの電気特性の計測を非破壊・非接触で実現!

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。

4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。

電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率(複素屈折率)の
周波数依存性を得ることができます。

【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア:THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』 製品画像

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。

4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。

電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率(複素屈折率)の
周波数依存性を得ることができます。

【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア:THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

日邦プレシジョン株式会社

○半導体製造装置、検査装置及び液晶パネル表示装置の設計・製造 ○同上周辺装置の設計・製作及び関連機器の製造 ○電子応用精密機器、計測装置及びメカトロ製品の設計・製造 ○各種検査システム及び搬送システムの開発・設計 ○磁性材料、セラミック、炭素繊維その他新素材の販売 ○アプリケーションソフトウェアの設計 ○赤外線分光装置及びテラヘルツ分光分析装置の設計・製作

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