日本エム・ケー・エス株式会社
最終更新日：2018-07-24 10:59:41.0
FTIRアナライザ『MultiGas TM Purity』
基本情報FTIRアナライザ『MultiGas TM Purity』
FTIRベースのバルクプロセスガス分析用高感度アナライザ！
「MultiGas TM Purity」は、高純度バルクプロセスガス中のppbレベルの不純物を検出可能なFTIRベースのアナライザです。
高分解能のアナライザによるバルクガス中の不純物の特定に威力を発揮します。
【特長】
■NF3、NH3、H2などのガスで、バルクガス製造の品質向上に貢献実績
■腐食性高純度ガスにも対応する構成
・サンプルラインとガスセルは316SS溶接タイプ
・水分や大気からの汚染物質を低減する加熱型オプティカルパスを採用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
FTIRアナライザ『MultiGas TM Purity』
「MultiGas TM Purity」は、高純度バルクプロセスガス中のppbレベルの不純物を検出可能なFTIRベースのアナライザです。
高分解能のアナライザによるバルクガス中の不純物の特定に威力を発揮します。
【特長】
■NF3、NH3、H2などのガスで、バルクガス製造の品質向上に貢献実績
■腐食性高純度ガスにも対応する構成
・サンプルラインとガスセルは316SS溶接タイプ
・水分や大気からの汚染物質を低減する加熱型オプティカルパスを採用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 FTIRアナライザ『MultiGas TM Purity』
半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。 真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。
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