汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！

『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の
マスフローコントローラです。

10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで
高速で再現性の高い流量制御が可能です。

また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置
としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。

電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた
Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。
MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。

【特長】
■要求の厳しいプロセスに対応
■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性
■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御
■アナログはフルスケールのパーセント精度
■高速ウォームアップでダウンタイム低減
■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。