石英ガラス　サーマルプロセス用製品　カタログ

新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応える半導体製品をご提供！

当社では、高耐熱、高純度、パーティクル対策などの要求にこたえる
CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等の
サーマルプロセス用製品を取り扱っております。

大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の
大口径石英ガラス部材を実現。
新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に対応します。

【製品例】
■チューブ
■フランジ
■大型フランジ（不透明）

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。