非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。

【特長】
　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。
　■高分解能（サブミクロン 最小1nm）
　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
　■半導体業界で豊富な実績

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プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、
ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。

幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。
また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。

【アプリケーション】
ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム、コーティング厚み測定、
ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状、
マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、
バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど

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