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最終更新日:2018/11/21

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非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

基本情報非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウェハー測定に好適!非接触式で高精度・高分解能の安定性を実現!

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、非接触でSi、SiCの厚み測定が
簡単に行えます。

サファイア等半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、
太陽電池等の厚み測定やドープウェハー測定に適しています。

干渉膜厚最大16層まで対応可能。対象物の傾きにも測定可能な
角度特性を実現しました。

【特長】
■非接触式
■高精度・高分解能の安定性を実現
■70,000Hzの高速サンプリング→R&Dからインラインに対応
■スポット径が小さく、分解能が高い測定が可能
■長い測定レンジで加工中、加工前後がこれ1台で可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』 製品画像

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、非接触でSi、SiCの厚み測定が
簡単に行えます。

サファイア等半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、
太陽電池等の厚み測定やドープウェハー測定に適しています。

干渉膜厚最大16層まで対応可能。対象物の傾きにも測定可能な
角度特性を実現しました。

【特長】
■非接触式
■高精度・高分解能の安定性を実現
■70,000Hzの高速サンプリング→R&Dからインラインに対応
■スポット径が小さく、分解能が高い測定が可能
■長い測定レンジで加工中、加工前後がこれ1台で可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

プレシテック・ジャパン株式会社

■レーザーマテリアル加工 ■光学測定技術

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