アローズエンジニアリング株式会社
最終更新日：2022-08-30 11:06:39.0
MEMS顕微鏡（両面顕微鏡）『TMIR-2000』
基本情報MEMS顕微鏡（両面顕微鏡）『TMIR-2000』
顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の
MEMS顕微鏡を取扱っています。
『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして
パターンズレや通り違い検査ができます。
新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で
上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で
マークズレをサブミクロン測定します。
【基本構成（抜粋）】
■MEMS 顕微鏡 本体
■三眼鏡筒
■接眼 10 倍
■XY ステージ
■カラーカメラ2台
■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト 他
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【製品不要の改善】MEMS顕微鏡（両面パターンズレ検査装置）
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の
MEMS顕微鏡を取扱っています。
『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして
パターンズレや通り違い検査ができます。
新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で
上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で
マークズレをサブミクロン測定します。
【基本構成（抜粋）】
■MEMS 顕微鏡 本体
■三眼鏡筒
■接眼 10 倍
■XY ステージ
■カラーカメラ2台
■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト 他
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 MEMS顕微鏡（両面顕微鏡）『TMIR-2000』
1.半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売 2.各種半導体装置周辺機器の修理・オーバーホール 3.半導体製造装置の付帯設備工事及び保守・保全 4.中古半導体装置及び中古ユニット・中古部品の販売 5.金属機械加工・特殊樹脂加工の設計・製造・販売 6.瞬低保護装置（VoltageSagProtector）の製造販売 7.各種検査機器・顕微鏡の販売 8.工業薬品の販売
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