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最終更新日:2018/12/07

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縦型減圧CVD装置

基本情報縦型減圧CVD装置

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能!カスタマイズ可能

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。

【特長】
■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応
■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減
■常温~900℃まで安定した温度コントロールを実現

※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。

縦型減圧CVD装置

縦型減圧CVD装置 製品画像

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。

【特長】
■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応
■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減
■常温~900℃まで安定した温度コントロールを実現

※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。 (詳細を見る

取扱会社 縦型減圧CVD装置

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半導体製造装置関連の設計製作、組立て、改造、保守サービス RF電源関連修理、調整

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