半導体・液晶加工のQ&A集 　近年の状況や気を付けるべき点も解説

半導体・液晶製造装置向けの大型製品や真空チャンバーなどの加工では、複雑形状のため多工程になりがちです。市場スピードの速いこの業界では、材料・板厚の選定から、高精度の加工までを少ない工程数で加工対応できるパートナー探しが重要になります。

『信和のQ&A』資料では、サイズ・板厚・材質・精度の4ポイントで、半導体・液晶の部品加工について役立つ情報をQ&A形式でわかりやすく紹介しています。

【こんな疑問を解決】
◎大型製品の加工業者・表面処理業者が見つからない…？
◎加工した金属部品の変形・歪みが起きてしまった
◎材料の重要な部分に傷がついていたり・ダコンがあった。

※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

アルミの材料から削りだした高精度な切削加工品です。

【特徴】
○半導体製造装置ボディ
○多工程での要求精度を向上
○平面度・平行度・直角度 0～20ミクロンの要求値に対応
○高精度な特殊治具を製作し、難加工に対応

加工の可否は、社内のCAD・プログラマーが細かく確認しており、
設計者様には大変ご好評をいただいております。

また、加工では5面加工マシニングセンタや5軸マシニングセンタなど
各種設備を駆使し、大物部品の製作・加工・メンテナンスをトータルでサポート。

上記製品の他、半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極、
ゲートバルブにて製作実績が多数あります。
また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済。

材料調達・機械加工・表面処理・検査までワンストップで
ご対応しますので、調達の手間が大幅に省けます。

ぜひ製作検討中の図面がございましたら、一度お問い合わせください。

<問い合わせ先>
info@al-shinwa.jp （詳細を見る）

大型マシニングセンタにより、深堀形状となるゲートバルブ本体や構成製品を、高精度に製作致します。
これまで多数の製品を出荷し、大手製造装置メーカー様より高い評価をいただいております。

半導体・液晶製造装置に欠かせないゲートバルブ製品を高精度に
製作致します。
また真空チャンバーや上部・下部電極などチャンバー内パーツについても
製作実績がありますので、あわせてご相談ください。

【製品紹介】
■液晶製造装置用ゲートバルブ本体
■ゲートバルブ製品に必須なアリ溝加工やシール面加工、ヘール加工も高精度に加工致します。
■液晶製造装置G10_3000mm超などの非常に大きな開口サイズでも対応可能です。
■実績：約20年間で数千台の加工実績があります。

見積・製作のご依頼に関しては、お気軽にお問い合わせください。
※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

液晶製造装置向けの大型アルミチャンバー製品です。
4トンを超す大物で、扱いには大変神経を使います。

5面加工マシニングセンタや5軸マシニングセンタなど
各種設備を駆使し、大物部品の製作・加工・メンテナンスをサポートします。

上記の他、半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極や
ゲートバルブにて製作実績が多数あります。
また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済。

材料調達・機械加工・表面処理・検査までワンストップで
ご対応しますので、調達の手間が大幅に省けます。

ぜひ製作検討中の図面がございましたら、一度お問い合わせください。

【製品紹介】
■液晶製造装置 大型チャンバー製品
■長さ4600×幅2600×板厚125で重量が4トンを超す大型製品
■表面の面粗度や平面度・平行度と大口径Ｏリング溝加工の
　厳しい要求精度に応じた製品

<問い合わせ先>
info@al-shinwa.jp （詳細を見る）

5面加工マシニングセンタ【加工対象範囲5200×4100×1700】や各種設備を駆使し、大物加工部品の試作・製作・加工・メンテナンスをサポートします。半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極やゲートバルブにて実績があります。また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済！

【特長】
■ 半導体製造装置に使用される大型チャンバー
■ 長さ1200×幅1100×高さ380　複雑な形状をした大型チャンバー
■ 深堀の内面加工の仕上がりと傾斜した角度の部分をロングホルダーで加工した事が特色

※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

半導体製造装置向けの大型アルミチャンバーです。
複雑な形状をしており、長さ1200×幅1100×高さ380の大型製品です。
加工の可否は、社内のCAD・プログラマーが細かく確認しており、
設計者様には大変ご好評をいただいております。

5面加工マシニングセンタや5軸マシニングセンタなど
各種設備を駆使し、大物部品の製作・加工・メンテナンスをサポートします。

上記の他、半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極や
ゲートバルブにて製作実績が多数あります。
また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済。

材料調達・機械加工・表面処理・検査までワンストップで
ご対応しますので、調達の手間が大幅に省けます。

ぜひ製作検討中の図面がございましたら、一度お問い合わせください。

【特長】
○半導体製造装置　大型チャンバー
○長さ1200×幅1100×高さ380　複雑な形状をした大型チャンバー
○深堀の内面加工の仕上がりと傾斜した角度の部分をロングホルダーで加工

<問い合わせ先>
info@al-shinwa.jp （詳細を見る）

【製品紹介】
○インペラー（５軸加工）
○５軸加工機によって制作した４ブレードインペラー
○隅部の仕上がり精度の高さが特長

詳しくはお問い合わせください。
 （詳細を見る）

【製品紹介】
○アルミ薄板加工製品
○板厚２～５mmの全面切削加工の製品
○加工段取り・特殊クランプにて加工
○特殊クランプにより、キズ・打コンのない表面仕上がりに対応

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

半導体製造装置部品関連の製作実績をご紹介します。

PC、LL、TMの「真空チャンバー」、「チャンバー内製品」、
「チャンバー周辺製品」「深堀製品（～650mm）」等の製作・納品実績あり。
アリ溝・シール面加工などの真空部品関連技術を駆使し、より高精度な製品づくりを目指しております。

さまざまな接合・表面処理にも対応可。
電子ビーム溶接（EBW）、ろう付、TIG溶接、
硬質アルマイト、混酸アルマイト、無電解ニッケル、テフロンコーティング等、お客様のニーズに対応いたします。

また、生産管理システムは自社開発品。フレキシブルな生産・納期管理を実現いたします。

【製品例】
■真空チャンバー（PC、LL、TM）
■チャンバー内製品（上部下部電極など）
■チャンバー周辺製品（LLM、LIDなど）
■ゲートバルブ製品
■深堀製品（～650mm）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）