株式会社イーエッチシー
最終更新日：2019-02-04 11:48:39.0
平行光露光装置カタログHTE-510-EHC
基本情報平行光露光装置カタログ
コンパクト設計な、平行光露光装置です。
ワーク寸法 ：150mmｘ150mm 厚み 約0.1～1.0mm
光学性能 ：超高圧水銀ランプ1KW（空冷式） , 波長約300～470nm(主波長365,405,436nm）
:紫外線照度 約40mw/cm^2 初期値（＠365nm）, 照度分布 90％以上
光線平行度 ：コリメーション半角≦1.5°, デクリネーション角≦1.0°
露光シャッタ：エアー駆動シャッタによる開閉方式
露光量管理 ：積算光量計に依る（管理波長 365nm）, 20チャンネルメモリー機能付き
マスク(基本)：ガラスマスク □８インチ 厚み3.0mm 又は 5.0mm（変更可能）
露光テーブル：吸着式テーブル , 前後可動方式 ,真空ポンプ内蔵
上枠タイプ ：ガラスマスク専用枠 , マイラー枠 どちらでも選択使用可能
ユーティリティ：電源 3相200V 50/60Hz , ブレーカースイッチ30A ,10.5KVA
：圧空 約0.5Mpa
：排気 約8ｍ^3/min
外形サイズ ：(W)800mmｘ(D)1470mmｘ(H)1915mm
取扱会社 平行光露光装置カタログ
1.EHCセル 金属成膜基板 各種パターン基板 ・先端材料評価に最適なEHCセル ・金属成膜基板 クシ型電極基板 パターンガラス パターンフィルム 2.小型液晶パネル組立装置 ・小型ラビング装置 ・簡易型ラビング装置 ・加熱型スピンコーター ・卓上型ガラススクライバー ・ガラスブレーカー 3.有機EL評価装置 有機太陽電池評価装置 ・有機ELのLIFE及びIVLを多チャンネルで自動化した評価装置 ・OPV DSSCのIV特性評価装置 4.露光・現像実験装置 ・減圧乾燥装置 ・平行光露光装置 ・自動搬送式現像装置
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