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最終更新日:2019/03/14

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マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置

基本情報マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置

成長直後の表面の分析も行うことが可能!

本装置は、Si用MBE成長チャンバ、化合物半導体用MBEチャンバの
マルチチャンバMBE装置をさらに真空トロッコにて拡張し、
化合物半導体用MOCVD装置にて接続しております。

これにより、MBE-MOCVDの両装置を用いた異種材料の成長を
大気に触れさせることなく行うことができます。

【特長】
■マルチチャンバ側の搬送室にはSTM室も接続されている
■成長直後の表面の分析も行うことが可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。

マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置

マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置 製品画像

本装置は、Si用MBE成長チャンバ、化合物半導体用MBEチャンバの
マルチチャンバMBE装置をさらに真空トロッコにて拡張し、
化合物半導体用MOCVD装置にて接続しております。

これにより、MBE-MOCVDの両装置を用いた異種材料の成長を
大気に触れさせることなく行うことができます。

【特長】
■マルチチャンバ側の搬送室にはSTM室も接続されている
■成長直後の表面の分析も行うことが可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。 (詳細を見る

取扱会社 マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置

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■装置販売 ・MBE装置・MOCVD装置・その他各種CVD装置・酸化装置 ■各種構成機器販売 ・Kセル・ラジカルセル・RHEED・その他真空機器 ■ソフト販売 ・自動成長システム・その他装置自動制御システム ■フィールドサービス ・各種装置のメンテナンス・その他

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