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最終更新日:2019/03/14

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CVD装置

基本情報CVD装置

ご要望に応じてオーダーメイド可能なCVD装置

●LP-CVD、MO-CVD、プラズマ CVD のオーダーメイド
●安全監視機能による事故防止機能  
●高度な気密試験による、高純度の薄膜堆積の現実
●自動運転による効率的な成膜作業が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱会社 CVD装置

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【加速器・ ビームライン関連】 ビームライン関連装置の設計・設置・制御系をトータルサポート 高精度の設置(通し制度:0.1mm)・光電子分光装置等 【理化学機器・半導体製造装置 】 マイクロプローバー・各種成膜装置・気孔分析装置・ガラス泡内ガス分析装置等 【真空機器及び超高真空容器 】 真空チャンバ・超高真空容器・TiNコーティング・異種金属溶接・真空熱処理炉・真空熱処理受託サービス等 【精密位置決め】 真空位置決めステージ・ ステッピングモーターコントローラ 【除振・防振・防音】 低固有振動数除振台・空気ばね式除振台・防振ダンパ・防振おもり・振動コンサルティング等 【要素技術】 制御用ハードウエア設計・制御プログラム開発・ハードウエア新規設計・改造・ユニット追加

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