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最終更新日:2019/07/31

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株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

基本情報株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

製造ラインの「性能アップ」と「安定稼働」を支えるお客さまの技術パートナー

プロセス装置の最適化改造から、工場内の各種周辺機器のご提供まで、お客様の製造ラインの安定稼働と生産性アップに貢献します。

近年、電子デバイスの高性能化と多様化に伴い、製造環境の最適化は、ますます重要となってなっています。 SCREEN SPE サービスでは、SCREENグループで共有する技術情報のもと、信頼性の高いソリューションのご提案を進めています。

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください

株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】 製品画像

プロセス装置の最適化改造から、工場内の各種周辺機器のご提供まで、お客様の製造ラインの安定稼働と生産性アップに貢献します。

近年、電子デバイスの高性能化と多様化に伴い、製造環境の最適化は、ますます重要となってなっています。 SCREEN SPE サービスでは、SCREENグループで共有する技術情報のもと、信頼性の高いソリューションのご提案を進めています。

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石英管保管庫

石英管保管庫 製品画像

『石英管保管庫』は、石英管および関連石英パーツを
清浄な環境で安全に保管するためのユニットです。

ロータリーテーブル方式による効率的な収納レイアウトで、
入出庫の作業性をアップ。

置き場所を選ばない省スペース設計です。

【特長】
■石英管を守る耐震保護機能付き
■置き場所を選ばない省スペース設計
■石英炉心管の接触面にテフロンを使用し、発塵防止
■石英ボートは、側面引き出しのボート保管方式を採用
■HEPA(ULPA)フィルターの搭載が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

石英管洗浄装置

石英管洗浄装置 製品画像

『石英管洗浄装置』は、回転洗浄により石英炉心管を均一に洗浄します。

専用バスケットにより、石英炉心管・石英治具の薬液洗浄⇒水洗を自動的に処理。

薬液供給機能の搭載やHEPAフィルターの搭載が可能です。
ご使用環境にフィットするカスタマイズに対応します。

【特長】
■回転洗浄により石英炉心管を均一に洗浄
■石英炉心管・石英治具の薬液洗浄⇒水洗を自動的に処理
■SCREEN SPE サービスのフィールド経験に基づいた
 操作性と安全性能を装備
■薬液供給機能の搭載やHEPAフィルターの搭載が可能
■ご使用環境にフィットするカスタマイズに対応

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排気スクラバーユニット

排気スクラバーユニット 製品画像

『排気スクラバーユニット』は、製造装置から出る強酸・強アルカリの
排気ガスを充填材を使用した気液接触方式で高効率に廃液として除去処理します。

環境に配慮し、薬液廃棄処理の負担を軽減。

製造装置単位で設置が可能な省スペース設計です。
排気ガスの要求除去率に対する各種仕様をご提供いたします。

【特長】
■製造装置単位で設置が可能な省スペース設計
■排気ガスの要求除去率に対する各種仕様をご提供
■環境に配慮し、薬液廃棄処理の負担を軽減
■排気ガス量、含まれる薬液の種類と濃度、要求除去率に柔軟に対応
■ファシリティーの排気能力が弱い場合でも、耐薬性ファンシステムで対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

ミスト回収ユニット

ミスト回収ユニット 製品画像

『ミスト回収ユニット』は、洗浄装置の排気ラインに接続するだけで、
排気ダクトに流れるミストを削減します。

排気ダクトからの危険な薬液の漏れを解消。
捕獲された薬液は重力ドレンによりタンク内に回収されます。

装置は最小限のスペースとするため
無駄な外枠を取り除いた骨格構造を採用しました。

カスタマイズにも柔軟に対応します。

【特長】
■排気ラインに接続するだけで、排気ダクトに流れるミストを削減
■排気ダクトからの危険な薬液の漏れを解消
■捕獲された薬液は重力ドレンによりタンク内に回収
■溜まった薬液はポンプで工場ドレンへ
■装置は最小限のスペースとするため無駄な外枠を取り除いた骨格構造を採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

バクテリアOFFユニット

バクテリアOFFユニット 製品画像

『バクテリアOFFユニット』は、循環水槽で発生するバクテリアや有機物を
「オゾン溶解・紫外線照射・光触媒作用」の機能により分解除去します。

化学薬品を一切使わずに除去するので、プロセスに対し安全。
装置メンテナンス頻度が低くなるため生産性がアップします。

また、工場設備となるクーリングタワーでも藻やバクテリアの発生を
防ぐこともできます。

【特長】
■化学薬品を使わずにバクテリア除去ができる
■「オゾン溶解・紫外線照射・光触媒作用」の機能により分解除去
■装置メンテナンス頻度が低くなるため、生産性がアップ
■クーリングタワーでも藻やバクテリアの発生を防ぐことが可能
■半導体工場や、液晶・太陽電池・電子基盤製造ラインに

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目視検査支援ユニット

目視検査支援ユニット 製品画像

『目視検査支援ユニット』は、カセット内のウエハーを1枚ずつ
リフトアップする補助装置です。

半導体ウェハ表面・裏面の目視検査のためにセミオートでウェハの
抜き取りを行います。

ウエハーの抜き取りが自動化され、作業ミスによるスクラッチや
チッピングの心配が無くなります。

【特長】
■カセット内のウエハーを1枚ずつリフトアップ
■ウエハーの抜き取りを自動化
■作業ミスによるスクラッチやチッピングの心配が無くなる

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ホットプレート/クールプレート

ホットプレート/クールプレート 製品画像

『ホットプレート/クールプレート』は、高い面内均一性をもち
先端プロセスの基礎評価に有効な製品です。

確保ピンアップ機構により、正確な処理時間管理が可能。

プロキシミティーボールで、すべてのウエハーサイズに対し均一な
ギャップが確保できます。

【特長】
■高い面内温度均一性
■先端プロセスの基礎評価に有効
■確保ピンアップ機構により、正確な処理時間管理ができる
■すべてのウエハーサイズに対し均一なギャップが確保できる

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配管ステップ

配管ステップ 製品画像

『配管ステップ』は、装置周りのメンテナンス環境の整備のため、
また、装置周りの用力保護のために有効な製品です。

設置環境に合わせてカスタマイズ可能。
半導体工場や、液晶・太陽電池・電子基盤製造ラインでご使用いただけます。

【特長】
■装置周りのメンテナンス環境の整備に有効
■装置周りの用力保護のために有効
■設置環境に合わせてカスタマイズ
■工場内装置に接続されている用力配管上にステップを作る

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超小型 精密温湿度空調ユニット

超小型 精密温湿度空調ユニット 製品画像

『超小型 精密温湿度空調ユニット』は、これまで難しかった小空間での繊細な温湿度制御が可能です。新エナジー制御システムにより、フレキシブルな操作性と高効率な熱エネルギー交換を実現。高い安定性能と超低消費電力により、安心して連続運転できます。

用途に応じて、水冷システムと空冷システムを用意しています。
小型なので装置への組み込みに有効です。

【特長】
■装置への組み込みにも好適
■設置環境を選ばない超小型設計
■3条件に設定が可能
■温湿調ユニットでの超低消費電力を実現
■空冷システムでは、最小限のファシリティー接続でOK

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ドラフトチャンバー

ドラフトチャンバー 製品画像

『ドラフトチャンバー』は、パーツ洗浄や各種化学実験で
安全な作業環境を確保します。

簡単な流し台構造から洗浄槽やエアガン、ハンドシャワー、作業台、
薬品供給、廃液等、用途に応じた多彩なオプションをご用意。

SCREEN SPE サービスのフィールド経験に基づいた
装置操作性と安全性能を装備しています。

【特長】
■作業効率向上につながる設計
■前面作業扉のスイング、昇降スライド、左右スライド、バランスウェイト等の
 多彩なバリエーションで、より大きなワークスペースを確保
■治具洗浄からプロセス実験まで、さまざまな用途にカスタマイズ可能
■用途に合わせてPVC製とスチール製をラインアップ

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省エネ・大容量空調ユニット

省エネ・大容量空調ユニット 製品画像

『省エネ・大容量空調ユニット』は、冷却除湿・加熱・加湿のすべてを
備えたオールインワン機構です。

ランニングコストを最大80%削減。
大風量が求められるエリアの温度・湿度を高精度に管理します。

独自の冷凍回路により、これまで捨てていた冷凍機の排熱を
空気加熱・加湿に最大100%利用できます。

別置熱源装置(各種冷凍機・ボイラー)は、一切不要です。

【特長】
■最大360m3/minの大風量に対応
■省エネ化システムでは難しかった湿度管理を実現
■効率良く冷却除湿・加熱・加湿するため、高性能な温湿度制御を実現
■掛かる電気代を大幅に削減
■広範囲の室内の空調に好適

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コーターデベロッパー用空調ユニット

コーターデベロッパー用空調ユニット 製品画像

『コーターデベロッパー用空調ユニット』は、部品調達や修理対応が
困難な従来型冷媒に代わる、代替フロン型空調ユニットです。

フロン類全廃への対応が進められ、部品調達や修理対応が困難な
従来型冷媒の代替が進められます。

旧型空調ユニットのメンテナンスは、脆弱でコスト高となりますが
その課題をリーズナブルに解決します。

【特長】
■部品調達や修理対応が困難な従来型冷媒に代わる代替フロン型空調ユニット
■老朽化によるMTBF悪化とメンテナンスコストアップの課題を解消
■特定フロン・指定フロンを使用している空調ユニットを
 オゾン層破壊係数「0」の代替フロンの空調ユニットに
■冷媒機にインバーター圧縮機を採用し省エネ化を実現

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帯電防止ユニット

帯電防止ユニット 製品画像

『帯電防止ユニット』は、静電気によるゴミの再付着と、基板パターンの
静電気破壊を防止する装置です。

DIWのイオン化で導電性が付与され静電気を除去。

複雑な機構を持たない独自の配管分配方式により、故障に強く、
また、安定した炭酸ガス飽和水と超純水の混合を実現しました。

【特長】
■CMP、洗浄、スクラバー、ダイシング各工程のリンス・洗浄プロセスなど
 幅広い用途に適応
■微細な中空糸膜の束を採用し、効率の良い炭酸ガス溶解を実現
■優れた配管分配方式により、比抵抗値の制御が容易で安定
■複雑な機構を持たない独自の配管分配方式
■故障に強く、安定した比抵抗の制御ができる
■純水昇圧ユニットとの一体型モデルも用意

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スラリー薬液供給ユニット

スラリー薬液供給ユニット 製品画像

『スラリー薬液供給ユニット』は、CMPスラリーを供給するユニットです。

CPMスラリーは、非常に物理的衝撃に影響を受けやすい敏感な薬液です。
本装置では、CMPスラリーにダメージを与えない新送液システムを
搭載しているので、安定したプロセス処理が行えます。

供給要求に応じたカスタマイズに柔軟に対応します。

【特長】
■キャニスター、またはポリタンクから自動でストックタンクへ薬液原液を送出
■調合タンクにて撹拌し、上位機へ供給、循環する装置
■薬液と純水との混合比率は可変
■使用環境に応じたカスタマイズに対応

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薬液供給ユニット

薬液供給ユニット 製品画像

『薬液供給ユニット』は、エッチング・洗浄処理等で使用する薬液を
プロセス装置へ供給するユニットです。

ポリタンクやキャニスターを複数本収納し、自動切換運転により連続供給が可能。

接続する装置毎に要求仕様は異なりますが、その要求に対し
幅広いオプションで柔軟に対応します。

【特長】
■操作性と安全性を追求した連続供給ユニット
■自動切換運転により連続供給が可能
■多くの検知機能を備えた安全仕様
■薬液タンク交換時の栓置き場を設けるなど、細部にわたりこだわりの設計
■100Lキャニスターを2本収納できる大型タイプをはじめとする
 さまざまなオプションをご用意

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廃液回収ユニット

廃液回収ユニット 製品画像

『廃液回収ユニット』は、操作性と安全性を追求した連続回収ユニットです。
製造装置からの処理後、薬液を専用容器に回収します。

回収容器は自動切換で、運転中にタンク交換が可能。
多くの検知機能を備えた安全仕様です。

接続する装置毎に要求仕様は異なりますが、その要求に対し
幅広いオプションで柔軟に対応します。

【特長】
■操作性と安全性を追求した連続回収ユニット
■回収容器は自動切換で、運転中にタンク交換が可能
■多くの検知機能を備えた安全仕様
■各種廃液仕様に合わせた回収方式
■回収容量をはじめ、用途に応じた幅広い仕様に対応

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クリーンブース

クリーンブース 製品画像

『クリーンブース』は、安価でクリーンルーム環境を構築できます。
クラス100~10,000のクリーンルーム環境の設営が可能。

連結使用で、広いクリーンルーム環境、レイアウト変更にも対応します。
本格的なクリーンルームに比べ圧倒的にローコストです。

半導体工場や液晶・太陽電池・電子基盤製造ラインをはじめ、
クリーン環境が必要となる化学薬品製造ライン、測定機器環境、
高精細特殊印刷環境等に好適です。

【特長】
■FFUにHEPA(集塵効率99.97%以上)を搭載
■強度のある鋼製で軽量の骨組により、付属のキャスターで移動も可能
■ビニールカーテンは帯電防止仕様で透明、イエロー、暗室タイプから選択
■イオナイザーの設置、出入り口のエアーシャワーの設置も可能
■ご要望に応じて設計・加工

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簡易クリーンブース

簡易クリーンブース 製品画像

『簡易クリーンブース』は、精密機器のセル生産、組立、部品の梱包、
検査エリアの確保に好適な組立式クリーンブースです。

作業台100Vコンセント仕様により、電気工事不要。
クラス1,000~10,000のクリーン空間を約1時間で設置可能です。

また、軽量なので簡単に移動が可能。一定期間不要となった場合は
分解して収納できます。

半導体工場や液晶・太陽電池・電子基盤製造ラインをはじめ、
クリーン環境が必要となる化学薬品製造ライン、測定機器環境、
高精細特殊印刷環境等に好適です。

【特長】
■FFUにHEPA(集塵効率99.97%以上)を搭載
■アルミ仕様の筐体により大幅に軽量化を実現し、移動も簡単
■各種サイズをご用意
■LED照明付きイオナイザーの追加が可能(オプション)
■コストは従来のクリーンブースと比較して約半分

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薬液サンプリング用クリーンブース

薬液サンプリング用クリーンブース 製品画像

『薬液サンプリング用クリーンブース』は、クラス10のクリーン環境で
確実な作業ができるクリーンエアシステムです。

高い清浄度が求められる薬液充填作業に対応。
防爆型ファンおよび、防爆型スイッチを採用しています。

工場ごとに要求仕様は異なりますが、様々なオプションで柔軟に対応します。

【特長】
■高い清浄度が求められる薬液充填作業に対応
■複数の薬液ボトルに対し簡単バルブ操作
■HEPAフィルター+プレフィルターで、
 フィルター清浄度の安定化と長期化を対応
■溶剤雰囲気に対し局所排気機能を装備
■さまざまなカスタマイズに対応

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クリーンベンチ

クリーンベンチ 製品画像

『クリーンベンチ』は、手軽にクリーンな作業スペースを確保します。

清浄空気が正面から後方へ流れる水平流形と、
天井側から下方向に流れる垂直気流の2種類を準備。

作業台エリアを集中的に、クラス100の清浄度を保ちます。
テーブル作業をクリーンな環境で行いたい場合、部品等をしばらく
クリーンな環境に仮置きしたい場合に有効です。

【特長】
■手軽にクリーンな作業スペースを確保
■水平流形と垂直気流の2種類を準備
■作業台エリアを集中的に、クラス100の清浄度を確保

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イオナイザー・ユニット

イオナイザー・ユニット 製品画像

『イオナイザー・ユニット』は、プロセス装置内や作業エリアの
静電気を除去します。

イオナイザーでの静電気除去で、作業効率、生産性向上。
クリーンブース天井部、作業台壁面、また、プロセス装置内などへの
設置で効果を発揮します。

LED照明付きなので、手元が明るくなり作業性がアップします。
環境に合わせたカスタマイズに対応できます。

【特長】
■プロセス装置内や作業エリアの静電気を除去
■イオナイザーでの静電気除去で、作業効率、生産性向上
■クリーンブース天井部、作業台壁面、プロセス装置内などへの設置で効果
■LED照明付きなので、手元が明るくなり作業性がアップ
■LED照明はイエロールーム用など各種カスタマイズに対応

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装置の代替改造とEOL部品の修理サービス

装置の代替改造とEOL部品の修理サービス 製品画像

当社では、部品調達や修理が困難な装置でも様々なご提案で継続稼働の
サポートを行う『装置の代替改造とEOL部品の修理サービス』を承っております。

通常、部品修理については、部品交換・修理・代替部品交換・装置改造での
対応を基本に行いますが、その対応でも修理が困難な場合は、
生産中止となった「部品修理」の支援を行います。

可能な限り、装置稼働頂けるよう対応を行います。

【特長】
■部品調達や修理が困難な装置の長期継続稼働をサポート
■時間経過とともに変化する装置環境に的確に対応

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フォトリソでの塗布ムラ確認用ライト

フォトリソでの塗布ムラ確認用ライト 製品画像

『SEBAPRO Light4 Surface』は、塗装ムラをその場で簡単に確認できる
フォトリソでの塗布ムラ確認用ライトです。

現場でのよりスピーディーな判断を可能にし、プロセス評価や装置の
条件出しでの作業を大幅に改善。

また、小型で手持ちできるので、確認環境を選びません。

【特長】
■光源にはレジスト感光波長域を持たないイエローLEDを採用
■高輝度で高効率の駆動回路を使用
■白色LEDと同等レベルの省電力を実現
■フィット感と携帯性を両立したデザイン
■確実な保持のためストラップを付属

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新標準!純水加温ユニット

新標準!純水加温ユニット 製品画像

『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、加温した純水を供給し昇圧機能を標準搭載した純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントが実現。特に既存設備からの入れ替えに有効です。

独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。
場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境にも
昇圧機能搭載なので、1次側の圧力変動に影響されず、安定した供給が可能です。

その他、昇圧機能無しの純水加温ユニットもご用意しています。

【特長】
■昇圧機能を搭載(選択オプション)
■限られたスペースに設置可能
■投資コスト低減にも寄与
■独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計
■加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計

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レビトロニクスポンプシステム

レビトロニクスポンプシステム 製品画像

『レビトロニクスポンプ』は、コンタミネーション発生の原因となる
軸受や開閉バルブを持たない送液ポンプです。

クリーンでかつ、安定した流量・圧力制御が求められる工程での
送液でより威力を発揮。

微小流量から大流量まで幅広いラインアップがあります。

※SCREEN SPEサービスは、レビトロニクス社
(Levitronix)の国内正規代理店です。

【特長】
■無脈動かつ高い制御性能を持ったベアリングレスポンプ
■ベアリング・軸受けの無い磁気浮上のインペラで接液部に摺動部が無い
■ポンプ内からのパーティクル発生はほぼゼロ
■2次側に流量・圧力変動があるとその出力を一定とするよう働く
 フィードバック機能により、常に安定した供給流量・圧力を維持
■遠心ポンプなので脈動が無く、安定したプロセス処理を実現

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コーン型危険警告センサー

コーン型危険警告センサー 製品画像

『SEBAPRO CONE』は、半導体工場での“開口部滑落”の事故防止をサポートする危険警告センサーです。また、工場内に幅広く設置でき事故防止にその効果を発揮します。

特に産業機器との電波干渉が発生しないセンサーを採用していますので、
設置基準の厳しい半導体工場でご使用いただけます。また、危険エリアへの侵入を音と光で警告し。より確実に安全を確保します。

【特長】
■産業機器との電波干渉が発生しないセンサーを採用
■半導体工場での“開口部滑落”の事故防止をサポート
■警告音と光で危険を報知

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ハンディー型危険警告センサー

ハンディー型危険警告センサー 製品画像

『SEBAPRO ECHO』は、産業機器との電波干渉が発生しないセンサーを使用した警告センサーです。設置基準が厳しい半導体工場でも利用可能で、失損が膨らみがちな半導体工場では特に、大きな効果が期待できます。

また、ハンディー型のためどこにでも設置が可能。事前に危険個所に取り付けておくことで、不用意に近づいた場合でも、音と光で危険知らせてくれます。メンテナンス作業では、危険個所への接触のリスクが軽減できます。EMOにぶら下げることで、EMOに近づいた時に不用意に押してしまう誤操作も防ぐことが可能。

【特長】
■産業機器との電波干渉が発生しないセンサーを採用
■EMOに近づいた時不用意に押してしまう誤操作を防ぐことができる
■危険個所に取り付けることにより、その個所への接触のリスクを軽減可能
■警告音と光で危険を報知

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フォトリソでのメンテナンス用ライト

フォトリソでのメンテナンス用ライト 製品画像

『SEBAPRO Light4/LightN』は、光源にレジスト感光波長域を持たない
LEDを使用したメンテナンス用ライトです。

分光分布が分かっているので、プロセス環境で安心して使用可能。小型なので持ち歩きに便利です。

半導体工場や、液晶工場でご活用ください。

【特長】
■光源にレジスト感光波長域を持たないLEDを使用
■露光装置、コータデベロッパ装置のメンテナンスが安心して行える
■分光分布が分かっているので、プロセス環境で安心して使用可能
■小型なので持ち歩きに便利

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耐薬エプロン『セバプロン』

耐薬エプロン『セバプロン』 製品画像

『セバプロン』は、無塵服の上に着用する耐薬エプロンです。

安全と作業性を考慮した「上下一体型の特殊デザイン」を採用。
足部分はズボンタイプなので、低所作業時の足回りの安全も確保できます。

また、ハイグレードタイプは、通気性のあるPTFE素材を使用しているので、
作業者へのストレスを大幅に緩和します。

【特長】
■薬液飛散のリスクのある作業も安全を確保
■安全と作業性を考慮した「上下一体型の特殊デザイン」を採用
■低所作業時の足回りの安全も確保可能
■機能性と作業性を重視したデザイン
■長時間の着用でも作業者のストレスを大幅に軽減

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純水昇圧ユニット

純水昇圧ユニット 製品画像

『純水昇圧ユニット』は、純水供給圧の不足や変動を解消する純水昇圧装置です。純水昇圧ユニットを導入により、純水供給圧の不足や変動の問題は解消されるため、安定したプロセス処理を行うことができます。

また、ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプの採用で、低発塵性能と耐久性能を実現。昇圧目標値に対し常時監視を行い、ポンプ回転によるフィードバック制御をするため、元圧変動に対しても安定・安心です。

機能豊富な高性能仕様で、厳しいプロセス要求にも対応できる、コンパクトなデザインです。装置信頼性が高く、多くの工場でご使用いただいています。

【特長】
■高いプロセス性能を持つ磁気浮上遠心仕様のレビトロニクスポンプを採用。
■フィードバック制御機能により、設定した昇圧ターゲットが維持されるようポンプ能力を加減制御。脈動のない安定した供給を実現。
■幅広い供給流量に対し、小さなフットプリントで実現。
■純水温度監視機能、純水元圧の監視機能(オプション)など対応可能。
■供給先装置のさまざまな通信仕様に対応可能。

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装置リフレッシュ・サービス

装置リフレッシュ・サービス 製品画像

当サービスは、SCREEN装置を長期に渡って安定して
ご使用いただくための技術サービスプランです。

現在お使いの装置を、経験豊富な専門技術者が診断。
適した「装置リフレッシュメニュー」をご提案します。

また、手軽に現在の装置状態を確認するための「簡易点検による装置診断」
サービスもご用意しています。

【特長】
■装置リフレッシュで長期にわたる生産ラインの安定化を実現
■効果的なプリメンテナンスで、装置の最適化と安定稼働を実現
■経年による性能ダウンを大幅に抑制
■装置の状態と好適なメンテナンスプログラムを確認できる

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取扱会社 株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

株式会社 SCREEN SPEサービス

・半導体製造装置の立ち上げ・セットアップ ・半導体製造装置の仕様変更 ・半導体製造装置の修理 ・半導体製造装置のリフレッシュ・プリメンテサービス ・半導体製造装置のプロセス最適化・延命化支援 ・半導体製造装置の移設・解体 ・保守契約による各種技術サービス ・周辺機器の開発・設計・製造・販売 ・周辺機器の修理 ・オリジナル安全機器・便利ツールの開発・設計・製造・販売 ・耐薬エプロンSEBAPRON(セバプロン)の販売 ・Levitronix社製品の販売・技術サービス ・装置消耗部品の販売

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