【異物検査装置】波長選択型の異物検査装置

エフケー光学研究所の異物検査装置は、検査対象サンプルに合わせ検査に最適な光(波長)に切替る波長選択型の検査装置です。
どの波長においても均一に照射可能です。
検査撮像素子に対して迷光ノイズ成分を十分に抑えた光学設計となっています。

また、お客様のライン構成に最適化可能な豊富なラインナップを取り揃えています。

1.　検査ステージ上に置かれたガラス基板を複数台のエリアセンサで検査するエリアタイプ。
2.　検査ステージ上に置かれたガラス基板を異物検査機を移動スキャンさせて検査するスキャンタイプ。
3.　コンベアで搬送中のガラス基板表面の異物を検査するコンベアータイプ。
4.　コンベアで搬送中のガラス基板の裏面の異物を検査する裏面異物検査タイプ。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

エフケー光学研究所の異物検査装置は、検査対象サンプルに合わせ検査に最適な光(波長)に切替る波長選択型の検査装置です。
どの波長においても均一に照射可能です。
検査撮像素子に対して迷光ノイズ成分を十分に抑えた光学設計となっています。

また、お客様のライン構成に最適化可能な豊富なラインナップを取り揃えています。

１．ロールtoロールやコンベアー等々で搬送されるフィルム状シートや基盤の検査を行います。
２．微細なピンホール欠陥、表面に付着した異物を検査致します。
３．フィルムコート後の物質によってはコート塗布の筋状の欠陥等々も検出可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）