株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
最終更新日:2020-11-24 11:23:05.0
オートマスクアライナー『AMA6000』
裏面アライメントなし!片面オートマスクアライナー AMA6000
『AMA6000』は、自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。
ASAPのマスクアライナーはマスクと完全非接触でウェハとのギャップ管理を行います。
非接触もできますが、ソフト、ハードコンタクトにも対応。
低価格、コンパクト、簡単操作を実現しました。
【特長】
■完全非接触での平行出し&露光
■省スペース&簡単メンテナンス
■オートアライメント
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に好適
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner
当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。
フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。
超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。
ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■超精密UVWステージ搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
半自動等倍露光装置(セミオートマスクアライナー)
当製品は、半自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。
基板を1枚毎にセットし、
基板セット後,搬送~露光を自動で行う装置です。
フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。
従来の手動でギャップ調整を行うという煩雑な作業が一切不要です.
また,超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。
ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
基板が特殊等のオーダーメイドも承ります。
【特長】
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能搭載
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■多品種少量生産、研究、開発用途に好適
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現
■超精密UVWステージ搭載
■特殊基板等のオーダーメイド可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
手動等倍露光装置(マニュアルマスクアライナー)
当製品は、手動一括等倍露光マスクアライメント装置です。
基板を露光ステージにセットし、露光を行う装置です。
ウエハを露光ステージへ手動でセッティング。
面倒なフォトマスクとウエハの平行調整やギャップ調整は自動で行います。
また,超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。
ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
基板が特殊等のオーダーメイドも承ります。
【特長】
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能搭載
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■多品種少量生産、研究、開発用途に好適
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現
■超精密UVWステージ搭載
■特殊基板等のオーダーメイド可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
2サイズインチ兼用自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)
当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。
φ3、4インチ φ4、6インチなどの2サイズのウエハが兼用可能です。
切替作業は、非常に簡単。3つの部品を交換するだけでOK。
搬送ロボットの微調整など一切不要です。
更にフォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行い、
製造工程における段取り替え時間を大幅に削減可能です。
超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。
ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■複数基板サイズ対応
■段取り替えが容易
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■超精密UVWステージ搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
半自動両面同時露光装置(セミオートダブルマスクアライナー)
当製品は、半自動両面同時露光装置です。
ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。
マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。
アライメントなしのfast露光モード、
ウエハとマスクのアライメントを主導で行うアライメント露光モードを
レシピで選択。
ベルト搬送方式の特徴を生かし、fast露光モードは高タクトで処理が可能。
上下マスクの位置合わせ、マスク―ウエハの位置合わせはI.Fを同一とし
操作が煩雑になる事がありません。
また、マスクの交換も簡単に行えます。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■両面同時露光
■fast露光モード、アライメント露光モード
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■ベルト搬送方式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置(マスクアライナー)です。
弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。
超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。
露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■i線(365nm)、H線(405nm)に対応!(g線はご相談ください)
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■超精密UVWステージ搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 オートマスクアライナー『AMA6000』
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