一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-07-30 09:23:35.0
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
基本情報[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することにより、物質の構成元素や電子構造を分析する方法です
EELS分析における下記の情報を掲載しております。
・原理
・特徴
・適用例
・データ例
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
EELS分析とは、電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。
TEMに付属している元素分析装置(EDX)と比較して、下記の特徴があります。
・EDXに比べて軽元素の感度が良い
・EDXに比べてエネルギー分解能が高い
・EDXに比べて空間分解能が高く、周辺情報を検出し難い
・元素によっては化学状態分析が可能 (詳細を見る)
取扱会社 [TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
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