有機デバイス総合カタログ

【特長】
ICF-70によるコンパクト/省スペース設計
シャッター機構標準装備
±0.1℃による温度設定が可能

●応用材料
・Si (Silicon)
・As (Arsenic)
・Ga (Gallium)
・Al (Aluminum)
・In (Indium)
・P (Phosphorus) etc

※仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。  （詳細を見る）

真空装置・真空部品をはじめとした研究開発機器の設計・製造を行う
北野精機社が取扱う、有機デバイス関連機器総合カタログのご紹介です （詳細を見る）

特徴
・小スペース、コンパクト設計
・蒸着セル最大5本取付可能
・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
・コンタミを防ぐ2重シールド構造
・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
メンテナンス・クリーニングの簡単設計
 （詳細を見る）

●特徴
・小スペース、コンパクト設計
・蒸着セル最大5本取付可能
・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
・コンタミを防ぐ2重シールド構造
・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
・メンテナンス・クリーニングの簡単設計
 （詳細を見る）

●有機デバイス作製・評価装置
・小スペース、コンパクト設計
・蒸着セル最大5本取付可能
・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
・コンタミを防ぐ2重シールド構造
・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
・メンテナンス・クリーニングの簡単設計
 （詳細を見る）

◆◇◆経緯◆◇◆

これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。
しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。

◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、
その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。
また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。
◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いているが、
現状の真空槽を活用して、拡張性を増やし、色々な実験を行いたい。
 （詳細を見る）

◆◇◆経緯◆◇◆

従来使用している金属蒸着方法は、ボート式であり、金属膜を蒸着する際に、
100A以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、
大電流を使用することで、膜質に悪影響をもたらす要因と考えられる。
また、蒸着の際の飛散量が激しく、チャンバー内のメンテナンスが頻繁に必要となり、
綺麗な環境での使用は困難となっている。 （詳細を見る）

◆◇◆経緯◆◇◆

これまで、他社製の大型有機蒸着セルを使用していた。しかしながら、
大型ならではのルツボ容量が大きいと言うこともあり、温度安定性と材料効率が
非常に悪く悩んでいた。有機材料においては、1g当たり数万円もコストが掛かる
材料を使用しているケースがある為、材料効率が悪い大型蒸着源を使用すると、
1回の蒸着において10gもの材料充填の必要がある。そこで、弊社の有機蒸着セルを
用いることで、その点を解消したい。 （詳細を見る）

精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。 （詳細を見る）

◆◇◆経緯◆◇◆

これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。
しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、
問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが
早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこで、コンパクトであるが、
最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。 （詳細を見る）

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。 （詳細を見る）

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。 （詳細を見る）

【特徴】
・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。
・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。
・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。
・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。
・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。
・蒸着室において、基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。
・基板とマスク間ギャップは最少。
・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。
・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。
・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。
・グローブボックスと接続可能。
・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。
・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準5枚ストック可能。
 （詳細を見る）

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。 （詳細を見る）