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最終更新日:2012/07/23

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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

基本情報GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のカタログです。

メープルMDC-6550シリーズはパワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物半導体や青色LEDの製造に使用されるMO-CVD装置の治具に成膜時に堆積するGaN、AlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。
製造時の製品歩留まりの向上、ランニングコストの削減に最適な装置です。

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置 【無料デモ実施中!】

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置 【無料デモ実施中!】 製品画像

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。
パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色LEDの製造に最適。製造時の製品歩留まりの向上、ランニングコストの削減に効果を発揮します。

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【特徴】
●GaN成膜装置に使用する各種冶具のドライ洗浄に最適
●洗浄可能な冶具は、SiCコートカーボン、石英等。
●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 。
●ウェット洗浄に必要な高価な大量の予備部品は不要
●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能!
●作業者に負担のかからない安全設計。

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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置 製品画像

GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 (詳細を見る

取扱会社 GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

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