【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品のアプリケーション事例及びご提案ver2

当資料は、コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品の
アプリケーション事例及びご提案を掲載しています。

光学ポイントセンサーによるサブミクロン精度による変位、形状、
厚み測定をはじめ、FSSによる平坦度、厚み、形状、縦と横の層と
部品配置の測定などについてご紹介しています。

ぜひご一読ください。

【掲載内容（抜粋）】
■アプリケーション及び製品（インライン検査向けにデザイン）
　・光学シングルポイントセンサー＆プローブを使用した変位及び厚み測定
　・測定したいエリアをスキャン厚み、平坦度、形状
　・色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査
　・色収差ラインスキャンカメラによるキズ・欠陥寸法検査
　・溶接の品質管理

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プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、
ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。

幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。
また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。

【アプリケーション】
ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム、コーティング厚み測定、
ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状、
マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、
バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど

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プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した
光学式センサの開発・製造をしています。

高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、
平坦度の測定・検査などに使用されています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に
対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。

半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも
使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても
利用されています。

【アプリケーション】
ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定
ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状
マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ
バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど

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