超広視野レーザ走査イメージャ『LSM-4000シリーズ』

『LSM-4000シリーズ』は、顕微鏡でもなくCCDカメラでもない第3の観察装置です。

幅広な長い画像を撮ることができ、細かな欠陥検査に好適。
セラミックス等のマイクロクラック、異物の検出が可能です。

当シリーズの他、大型レーザ走査イメージャ「LSM-6000シリーズ」や小型
レーザ走査イメージャ「LSM-3000シリーズ」もラインアップしています。

【LSM-4000シリーズ 特長】
■標準型レーザ走査イメージャ
■透明フィルム、サファイア、ガラス、セラミックスなど、数μmのキズや
　異物の検出（2画面表示）
■スーパーバリアフィルム、ITO膜のリペアー部検出
■セラミックス等のマイクロクラック、異物の検出可能
■走査幅4mmで0.2μmレベルの欠陥を検出
■走査レンズは交換可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）