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最終更新日:2020/05/26

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F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』 製品画像

『SP型-RadiMo』は、吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの
絶対密度の計測ができる装置です。

光源から放射されるプローブ光のスペクトルは、高精度にキャリブレーション
されています。

また、発光・非発光プラズマのどちらでも計測することが可能。F-RadiMoは
プロセス装置のポートに取り付けることにより計測できるようになります。

【特長】
■フッ素ラジカルの絶対密度の計測
■発光、非発光プラズマのどちらでも計測可能
■絶対密度算出のための較正が必要ない
■F-RadiMoはプロセス装置のポートに取付けて計測可能
■さまざまな計測応用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

株式会社片桐エンジニアリング

○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス

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