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最終更新日:2020/05/26

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高真空蒸着装置『KW-030D』

高真空蒸着装置『KW-030D』

高真空蒸着装置『KW-030D』 製品画像

『KW-030D』は、小規模生産用及び各研究機関の実験用として、コンパクト
設計により初心者でも容易に作業ができる高真空蒸着装置です。

ターボ分子ポンプを搭載することにより、高真空での成膜が可能。

また、基板傾斜機構も搭載し、2軸の回転角度を調節することにより
斜め蒸着ができます。

【特長】
■初心者でも容易に作業可能
■ターボ分子ポンプ搭載
■基板傾斜機構搭載
■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応
■水晶振動式膜厚モニター搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 高真空蒸着装置『KW-030D』

株式会社片桐エンジニアリング

○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス

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