株式会社アイテス
最終更新日:2023-01-12 17:18:59.0
微量汚染物のTOF-SIMS分析
微量汚染物のTOF-SIMS分析
再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。
同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を
行いました。
TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物(CH,CN)、
Na、K、が検出されました。
ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と
思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が
付着していることがわかりました。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【資料】イオンクロマトによる低分子有機酸の分析事例
当資料は、イオンクロマトによる低分子有機酸の分析事例について
掲載しております。
イオンクロマトではCl-,Br-,SO4^2-以外にも、一部の有機物を検出可能。
分析事例として低分子有機酸を陰イオン交換モードで測定した例を
示します。ぜひ、ご一読ください。
【掲載事例】
■乳酸、酢酸、プロピオン酸、ギ酸
■アクリル酸、メタクリル酸
■安息香酸
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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表面分析ガイド
当社は、様々な表面分析手法を用いて、異物、変色、汚染などのお困り
ごとの解決に向けてお役立て致します。
微小領域からバルク試料まで幅広い分析が可能な「EDX」、電子線を照射し
オージェ電子を検出する「AES」、絶縁物の分析や化学結合状態の分析が
可能な「XPS」など、様々な表面分析を行っております。
ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。
【分析手法】
■EDX(EDS):エネルギー分散型X線分析
■AES:オージェ電子分光分析
■XPS(ESCA):X線光電子分光分析
■TOF-SIMS:飛行時間型二次イオン質量分析
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【資料】透明樹脂のFT-IR分析
PMMA(アクリル)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、
PC(ポリカーボネート)はその透明性という特長を活かし、
多くの用途に使用されます。
液晶ディスプレイの周辺部材、モバイル端末画面の保護フィルム、
ヘッドライトカバー、光ファイバー、繊維など産業用製品には
欠かせない材料です。
当資料では、それらの原料(ペレット)をIR分析した結果をご紹介します。
【掲載内容】
■分析サンプル:エステル/カーボネート系ポリマーの特長
■IRスペクトル(ATR法)
■スペクトル比較(重ね合わせ)
■その他、関連分析サービス
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【資料】ビニルポリマー(樹脂材料)のIR分析
ビニルポリマーには多くの種類があり、その側鎖の分子構造によって
さまざまな特性を発現。また、その側鎖の結合配置(立体異性体)により、
結晶性に差が生じます。
当資料では、ビニルポリマーの中でも代表的な、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリスチレン、塩化ビニル(塩ビ)のIR分析を行った結果を
ご紹介。
アイテスは、微妙な差異も見逃さず、化学理論による高度なデータ解析を
行います。いつでもお気軽にご相談ください。
【掲載内容】
■分析サンプル:ビニルポリマー
■IRスペクトル(ATR法)
■IRスペクトル比較(重ね合わせ)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【資料】不具合の原因を化学の視点で解決します
クラック、変色、剥離、変形、物性強度低下など、製品、
部材などに発生する不具合は様々です。
その多くは、製品を構成する材料に原因がある場合が多く、
その材料を分析調査することで解決することがあります。
当資料では、何が起きているのかを化学、および反応機構で
アプローチする方法をご紹介します。
【掲載内容】
■クラック(割れ)、剥離
■変色、変形
■化学反応機構(エポキシ樹脂硬化例)
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【TOF-SIMSの事例】Liの分析
TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介します。
汚染や異物の分析には、SEM-EDXが利用されていますが、
windowless EDXを除く一般的なEDXではLiの検出は困難です。
一方、TOF-SIMSはLiを感度よく検出することができます。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
【概要】
■銅板の染みの分析
■SEM-EDX分析→Li検出困難
■TOF-SIMS分析→Li検出可能
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【資料集】LCDパネル解析資料集
LCD解析でお困りのあなたに、
私たちアイテスが解決のお手伝いをします!
構造解析:
刻々と進化するFPD製品・先端技術が組み込まれた製品に対して、
特性・構造上の潜在的問題点がないかを評価しご報告します。
不良解析:
増え続ける海外製造品の製造不良に対して、
最短ルートでアプローチ・原因究明いたします。
信頼性試験:
お客様の目的・必要性に応じて、豊富なノウハウにより
最適な信頼性試験手法・条件のご提案を行います。
【掲載内容】
■ 知ってた?知らなかった?ディスプレイとは?
■ パネル解析事例
■ もっと教えて!アイテスのLCD解析
■ アイテスではこんな解析ができます! (詳細を見る)
【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ
電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能な
TOF-SIMSの事例をご紹介します。
金属板に2種類の黒色マジックで描画し、広域(30mm×30mm)の
イメージマッピング測定を実施。
光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特長的な
2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を
可視化することができます。
この他にも、TOF-SIMSにて広域イメージマップ測定後、スペクトルから
詳細な解析結果を得られた事例もございます。
【概要】
■通常測定(ビームスキャン測定)は、サイズ500μm × 500μm以下を測定対象
■電動ステージと組み合わせることで、広い領域のイメージマップ測定が可能
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ダイナミックSIMS
『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を
ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。
定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が
可能。(当社の協力会社での分析実施)
最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことが
できます。
【特長】
■試料の自動ロード/アンロード、高スループット(24試料/ロード)
■比類のないデプスプロファイリング能力と高いデプス分解能、
広ダイナミックレンジ
■ガラス、金属、セラミックス、Si、化合物半導体、浅いインプラントなどの
分析に最適化
■最高検出限界:ppmからppb (10^-6〜10^-9)
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化学分析 おまかせサービス
当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。
製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、
無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適
なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。
分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、
目的に合った手法を選ぶ必要があります。
【特長】
■結果が得られたデータのみ報告
■結果報告は最大2手法まで
■3手法以上の結果報告をご希望の場合は、別途費用が発生
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 微量汚染物のTOF-SIMS分析
【解析・信頼性評価事業】 ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価 ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】 ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】 ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】 ■ウェハー加工サービスおよび販売
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