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最終更新日:2020/06/05

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質量分析

超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』

超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』 製品画像

『WATMASS-MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、
リーク量(10^-15Pa・m³/s 以下)の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに!

★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量(10^-15Pa・m³/s 以下)の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

差動排気型 質量ガス分析計『Transpector CPM』

差動排気型 質量ガス分析計『Transpector CPM』 製品画像

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量ガス分析計で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。
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価格帯 500万円以上 1000万円未満 納期

四重極型質量ガス分析計『Transpector MPS&MPH』

四重極型質量ガス分析計『Transpector MPS&MPH』 製品画像

『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集
速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。

残留ガス分析計 (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、
お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、
ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。

【特長】
■超高速データ収集
■TCP/IP イーサネット接続
■デュアルフィラメント
■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット
■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット(マッチング不要)
■設置スペースの最小化

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超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』 製品画像

『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

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取扱会社 質量分析

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○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ  ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計  ・真空ポンプ用電源  ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器

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