東京電子株式会社
最終更新日：2021-09-08 10:40:52.0
Transpector(R) CPM
超高感度 質量分析装置 WATMASS－MPH DAシステム
『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。
弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！
★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★
【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託質量分析も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』
INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。
（詳細を見る）
取扱会社 Transpector(R) CPM
○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計 ・真空ポンプ用電源 ・真空排気装置 ○電子（応用）機器の受託設計・製造 ・各種制御機器
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