工業･電子部品用露光装置(手動)

長年にわたり培ってきた､独創性あふれる光テクノロジーとランプ製造技術の 粋を集めた露光装置群！

長年にわたり培ってきた､独創性あふれる光テクノロジーとランプ製造技術の
粋を集めた露光装置群は､エレクトロニクス分野､印刷分野において､数多くの
実績を重ねてきました｡

新開発の光学系､ミラー技術､効率高いの超高圧水銀ランプ･メタルハライドランプが
織りなす高精度な｢平行光｣と､優れたコストパフォーマンスにより､最先端技術の
発展を支えます｡

【片面マスクアライナー】
●半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に用いられます。

●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。

【両面マスクアライナー】
●ウェハー、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークを
　アライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストにプロキシミティ
　及びソフトコンタクト露光にて、微細なマスクパターンを転写する
　マスクアライナーです。