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最終更新日:2014/08/05

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多目的スパッタリング装置

基本情報多目的スパッタリング装置

R&Dニーズから量産レベルまで、スパッタリングの幅広い用途をフルカバー

R&Dニーズから量産レベルまで、スパッタリングの幅広い用途をフルカバー

【ラインナップ】
●小型スパッタリング装置
●サイドスパッタリング装置
●ロードロック式スパッタリング装置
●マルチチャンバースパッタリング装置
●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置
●巻取式スパッタリング装置

【主な特長】
●金属、合金、絶縁膜など広範囲な材質での薄膜製作が可能です。
●反応生成膜の作成も出来ます。
●膜厚制御が容易で、安定した薄膜形成をお約束します。
●基板の表面がグロー放電プラズマによりクリーニングされます。
●10nm以下の薄膜、多層膜が作成できます。
●基板への優れた密着性を実現しました。

多目的スパッタリング装置

多目的スパッタリング装置 製品画像

信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。 (詳細を見る

取扱会社 多目的スパッタリング装置

神港精機株式会社

真空ポンプ・薄膜形成装置・・投影機・プラズマ装置・精密電気炉の製造、販売を行っております。

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