Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。
しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。

その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。
また、半導体のウェハーのみならず、金属エッチング加工製品では、目視で欠陥やゆがみなどを検査しますが、それら加工製品の数量が増加すれば、目視検査での見落としや、人件費が膨大に膨れます。

その見落としと、人件費を削減するために、半導体、金属エッチング加工製品の検査工程にPrestigeを導入し、検査工程の見落としから費用の削減までを可能に。

【特長】
● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能で、幅広い検査に対応
● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適化照明
● カメラアングル可変式を採用、明視野～暗視野像の検査
● 欠陥検査とムラ検査が同時処理
● 6/8/12インチ対応
● オプション機能により、ウェハ裏面検査に対応 （詳細を見る）