HRモータに最適化した標準ステージ

『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる
超音波モータ（ピエゾモータ）です。

速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な
摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。

単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで
各種ラインアップ。真空仕様品もございます。

【特長】
■10nmのステップ分解能
■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
■制限のない可動範囲と高い応答性
■4～32Nの抜群の駆動力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。
こちらも、お気軽にお問合せください。 （詳細を見る）

Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。


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『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の
分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。

高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、
より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。

ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と
同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。

【特長】
■高真空アプリケーション
■サブナノメートルの位置決め精度
■優れたエネルギー変換効率
■幅広い動的な速度範囲
■ゼロバックラッシュと高い剛性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。
ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。
ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。
エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
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FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。
FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。 （詳細を見る）

FGゴニオステージ（FGS）は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。 （詳細を見る）

FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。 （詳細を見る）

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。
また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。

■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。

■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。

■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール
小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。

※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。

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弊社は、『第11回 おおた研究・開発フェア ONLINE』 に出展いたします。

今回の出展では、産学連携で開発した、揺れる作業船から安全に洋上風力発電設備へ移乗する「可動式桟橋」と4腕を持つ油圧駆動のクローラ「自走式作業機械」の2件を紹介します。
この他、油圧/電動のロボット関連製品（小型油圧サーボ弁、小型・大出力サーボモータドライバ、光学センサ用シャッター）や真空対応の高精度位置決めステージ（超音波モータ駆動）も紹介します。

【出展内容】
■超精密位置決めステージ（真空対応）
■油圧サーボアクチュエータ（油圧ロボット、モーションベース）
・可動式桟橋（事例紹介）
・自走式作業機（事例紹介）
■光学シャッター（フィルタ切替、センサ遮光）

【出展製品】
■超音波モータ（ピエゾモータ）　　「HRモータ」
■小型油圧サーボ弁　　　　　　　　「ST-200」
■デジタルサーボドライバー　　　　「FlexPro」
■超音波モータ（ピエゾモータ）用標準ステージ
■画像・光学センサ向け各種シャッター　 （詳細を見る）

弊社は、2021年12月15日(水)～12月17日(金)に東京ビッグサイトにて開催される「 SEMICON Japan 2021 Hybrid」に出展いたします。

当展示会では、半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の導入実績のあるナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)、ステージ製品群ならびに、アドバンスド・モーションコントロール社のデジタルサーボドライバ製品をご紹介します。

【出展製品】
■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE8 モータ」
■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有)
■超音波モータ(ピエゾモータ)「EDGE モータ」
■FBステージ(ナノモーション標準ステージ）
■デジタルサーボドライバー「FlexPro」

皆様のご来場を心よりお待ちしております。 （詳細を見る）

当社は、2022年3月3日(木)～3月4日(金)に大田区産業プラザPiOにて開催される「試作市場＆微細・精密加工技術展」に出展いたします。

■比例弁アンプデモ
建機の油圧アクチュエータを動かす比例弁用アンプKPA2を用いた、空き缶潰し機のデモを行います。実際に操作パネルのジョイスティックで任意に動かせ、また位置制御を体験できます。

■高速・精密位置決めステージ（超音波モータ駆動）デモ
最速250mm/secでの移動、10nmでの位置決めが可能な超音波モータ駆動のステージのデモをご覧いただけます。
真空環境モデルもあり、カスタムメイドも可能です。

■スイッチ耐久実験装置デモ
回転数制御で一定回転で回す事が可能。反発力のある素材でも安定して実験できます。
当社では電気や油圧を用いた実験装置の設計・製作も行っています。

■サーボモータ用小型・大出力デジタルドライバ
無人搬送車やロボットで使われるサーボモータを動かすデジタルドライバ。最新モデルでは最大4.5kWの出力能力があります。

■WiFi水位計試作
井戸用の水位計で、スマホとダイレクト通信で水位を確認する試作品。 （詳細を見る）

Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。
半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。

Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。
モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。
また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。

■SEモータ（最新型）
1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。

■HRモータ（標準型）
1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力　
国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
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当社は、2022年10月19日(水)～21日(金)に東京ビッグサイトにて開催される
「Japan Robot Week 2022」に出展いたします。

当社は建機で使われる油圧用比例弁、プレスや材料試験機で使われるサーボ弁を制御することを得意としている会社です。

今回の展示会では、過去の製作実績例の他、下記の製品及びデモ展示予定です。

■制作事例
油圧ロボット等の過去の受託開発事例（試作実例）の紹介

■比例弁アンプデモ
建機の油圧アクチュエータを動かす比例弁用アンプKPA2を用いた、空き缶潰し機のデモを行います。実際に操作パネルのジョイスティックで任意に動かせ、また位置制御を体験できます。

■光学用シャッター
弊社取り扱いの光学用シャッターは監視カメラ用に世界に多く販売した実績があります。また、シャッターのカスタム製造やシャッターを含めた試作や実験装置のご相談も承ります。

■サーボモータ用小型・大出力デジタルドライバ
無人搬送車やロボットで使われるサーボモータを動かすデジタルドライバ。最新モデルでは最大4.5kWの出力能力があります。
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開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。
大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。

■ライトシート顕微鏡用ステージ
正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。
XYZとTip-Toltの5軸。

■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。

■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。

※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。 （詳細を見る）

工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。
この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。

これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。

このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。

【出展製品】
■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有)
■半導体産業向け4軸ステージ
■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ

皆様のご来場を心よりお待ちしております。 （詳細を見る）