小型超音波モータ『EDGEモータ』

EDGEモータはナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）です。
このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。 （詳細を見る）

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。
また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。

■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。

■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。

■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール
小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。

※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。

 （詳細を見る）

弊社は、2021年12月15日(水)～12月17日(金)に東京ビッグサイトにて開催される「 SEMICON Japan 2021 Hybrid」に出展いたします。

当展示会では、半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の導入実績のあるナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)、ステージ製品群ならびに、アドバンスド・モーションコントロール社のデジタルサーボドライバ製品をご紹介します。

【出展製品】
■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE8 モータ」
■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有)
■超音波モータ(ピエゾモータ)「EDGE モータ」
■FBステージ(ナノモーション標準ステージ）
■デジタルサーボドライバー「FlexPro」

皆様のご来場を心よりお待ちしております。 （詳細を見る）

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。
大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。

■ライトシート顕微鏡用ステージ
正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。
XYZとTip-Toltの5軸。

■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。

■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。

※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。 （詳細を見る）