薬液用　フッ素樹脂製 ベローズポンプ

薬液用　フッ素樹脂製 ベローズポンプ

薬液透過対応型
(TMA・TMAH・HCl・HF等)

【特長】

◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。

◆ 接液部にOリングを使用していない。

◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。

◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。

◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。

◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。

◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。