実績・事例集『放射光施設の分析用回転ステージ』

『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる
超音波モータ（ピエゾモータ）です。

速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な
摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。

単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで
各種ラインアップ。真空仕様品もございます。

【特長】
■10nmのステップ分解能
■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
■制限のない可動範囲と高い応答性
■4～32Nの抜群の駆動力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。
こちらも、お気軽にお問合せください。 （詳細を見る）

FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。
FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。 （詳細を見る）

Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。


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開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。
また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。

■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。

■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。

■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール
小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。

※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。

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当社は、2022年3月3日(木)～3月4日(金)に大田区産業プラザPiOにて開催される「試作市場＆微細・精密加工技術展」に出展いたします。

■比例弁アンプデモ
建機の油圧アクチュエータを動かす比例弁用アンプKPA2を用いた、空き缶潰し機のデモを行います。実際に操作パネルのジョイスティックで任意に動かせ、また位置制御を体験できます。

■高速・精密位置決めステージ（超音波モータ駆動）デモ
最速250mm/secでの移動、10nmでの位置決めが可能な超音波モータ駆動のステージのデモをご覧いただけます。
真空環境モデルもあり、カスタムメイドも可能です。

■スイッチ耐久実験装置デモ
回転数制御で一定回転で回す事が可能。反発力のある素材でも安定して実験できます。
当社では電気や油圧を用いた実験装置の設計・製作も行っています。

■サーボモータ用小型・大出力デジタルドライバ
無人搬送車やロボットで使われるサーボモータを動かすデジタルドライバ。最新モデルでは最大4.5kWの出力能力があります。

■WiFi水位計試作
井戸用の水位計で、スマホとダイレクト通信で水位を確認する試作品。 （詳細を見る）

Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。
半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。

Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。
モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。
また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。

■SEモータ（最新型）
1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。

■HRモータ（標準型）
1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力　
国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
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当社は、2022年10月19日(水)～21日(金)に東京ビッグサイトにて開催される
「Japan Robot Week 2022」に出展いたします。

当社は建機で使われる油圧用比例弁、プレスや材料試験機で使われるサーボ弁を制御することを得意としている会社です。

今回の展示会では、過去の製作実績例の他、下記の製品及びデモ展示予定です。

■制作事例
油圧ロボット等の過去の受託開発事例（試作実例）の紹介

■比例弁アンプデモ
建機の油圧アクチュエータを動かす比例弁用アンプKPA2を用いた、空き缶潰し機のデモを行います。実際に操作パネルのジョイスティックで任意に動かせ、また位置制御を体験できます。

■光学用シャッター
弊社取り扱いの光学用シャッターは監視カメラ用に世界に多く販売した実績があります。また、シャッターのカスタム製造やシャッターを含めた試作や実験装置のご相談も承ります。

■サーボモータ用小型・大出力デジタルドライバ
無人搬送車やロボットで使われるサーボモータを動かすデジタルドライバ。最新モデルでは最大4.5kWの出力能力があります。
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開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。
Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。
大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。

■ライトシート顕微鏡用ステージ
正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。
XYZとTip-Toltの5軸。

■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ
SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。

■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム
アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。

※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。 （詳細を見る）