常識を覆すパフォーマンス「ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブ」

超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』は、
半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど
超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。

製品ごとの個体差を減らしたことで、
流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、
バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の
すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。

【特長】
■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現
■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能
■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms
■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性
■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、
半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。

【特長】
○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン
○高速の開閉機能
○高温下でも安定した流量を実現
○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート

常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」
半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。 （詳細を見る）