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-196℃で液化しないガスに適用可能！各種不純物を吸着除去します！
『深冷吸着式ガス精製装置 Model-TKA』は、液体窒素温度(-196℃)で 各種不純物を吸着除去します。 常温では吸着しないN2やCH4も吸着除去することができます。 当製品は、-1…
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ガス精製装置『ゲッター式ガス精製装置Model-UHG・URT』
当社が開発した独自のゲッターによりガスの高純度精製が可能です！
『ゲッター式ガス精製装置Model-UHG・URT』は、当社が開発した独自の ゲッターによりガスの高純度精製が可能です。 常温吸着式では除去困難な窒素(N2)の除去が可能です。 反応筒(ゲッ…
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多種多様な精製方式の精製装置や排ガス処理装置などを多数掲載。選定に役立つセレクションガイドも！
当資料は、各種ガス精製装置や排ガス処理装置等の製造及び販売を 行っているエア・ウォーター・メカトロニクスの取り扱い製品を掲載した総合カタログです。 独自の触媒によりガスの高純度精製が可能な、常…
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パイオクリンカートリッジ
「パイオクリン」は各種の有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから多種の有害物質を完全に 取り除きます。また、ドライタイプの除害剤のため、取扱いがきわめて簡単に行えるなど、 数々の優れた特長とメリット…
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半導体用ガス精製器です。
独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。 【特長】 ・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を 実現し、より…
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CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。
本装置は、CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。 また、ヒーター加熱方式によりプロパン等の燃焼燃料を必要とせず、 CO2の排出量を最小限に抑えることが…
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GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。
本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。 常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス性向上、 ランニングコスト及び環境負荷の低減を可能に致しました。…
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エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 …
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大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。
毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等（配管、継手、バルブ等）から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。 【特長】 ・緊急…
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常温吸着式精製装置
精製装置のパイオニア・日本パイオニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った 多彩な技術で開発した“VPシリーズガス精製装置”は、究極の純度と、 環境・安全に配慮した製品創りを追求し、「安心」と「信…
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パラジウム合金膜透過式水素ガス精製装置
【特長】 ・水素以外の物質は全く透過しないパラジウム合金膜透過による精製方法であり、 ダストを含まない超高純度水素ガスが得られます。 ・当社のパラジウムセルは長寿命※1です。独自に開発した…
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常温吸着式空気精製装置
JAR型空気精製装置は主にステッパー、自動車排ガス測定用ゼロガス、 燃料電池用のガス精製を目的とした精製装置です。 【特長】 ・常温吸着式ガス精製装置です。（ただし、反応筒は加熱状態で使用し…
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パイオクリン排ガス処理装置
【特長】 ・シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの 組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。 ・ガス検知器などのオプションを取…
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燃焼式排ガス処理装置です
本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成…
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- 表示件数
- 45件
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