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最高1nmの分解能を備えたステージや、±20nmの繰り返し再現性を実現したステージを提供。1台からカスタムにも対応可能
製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠…
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ミリグラム(mg)・μNレベルの微小な力を高感度で検知・測定。小型で装置への組み込みも容易
「もっと検出精度の高い荷重センサが欲しい」 「ミリグラム(mg)レベルの、小さな力を測りたい」 など、より高機能の荷重センサを使いたいと感じたことはありませんか。 当社の高感度荷重センサ『…
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対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ
■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けも…
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レーザ光スキャニングに適しています
■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定し…
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光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに好適
■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、…
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レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィー…
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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構で…
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ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、…
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高速、高精度位置決めを実現します！ X軸ステージのストロークは6μmから700μmまでご用意しております。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。 ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御…
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【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XY軸
高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/30μmから500/500μmまでご用意しています。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PS…
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圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。 Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富な…
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【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XYZ軸
高速、高分解能で再現性に優れた位置決めを実現。ストロークは20/20/12μmから80/80/80μmまで取り揃えています。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。 XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えておりま…
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移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と組み合わせ、微細観察や高精度マッピング測定に適しています
超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定な…
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移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。
超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。 ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけ…
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【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ XYZ軸
移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXYZ軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。
超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。 ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動…
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テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる２種類がございます。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度…
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【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ 光学ミラー用ステージ
特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２軸アオリ（θx、θy）があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度…
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鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプ 回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・…
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対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富な横型です！
超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ横型です。 横型は厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富です。ストロークは15nmから400nmまでのラインナップをご用意しております…
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対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。
超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです…
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【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ XY軸
超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。
ピエゾステージ PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に 用いて精密金型加工が実現できます。 他のタ…
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【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ X軸
超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。
精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工…
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SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で…
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押圧力検出・測定センサ「フォースセンサ」【微小な力を検知可能】
μN～ｍNレベルの微小な力を検知できる微小力センサ！&100N以上の荷重が測定できる「高剛性センサ」をご用意！
「フォースセンサ」は、μN レベルの微小力や、100Nクラスの高い押圧力を検出・測定できるセンサです。「微小力タイプ」と「高剛性タイプ」をラインナップしています。静電容量センサを利用したフォースセンサ…
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高速応答性と超高分解能。微小領域の高精度位置決めを実現します。※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中
圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。 【特長】 ■ストローク30μm以下のステージで構成 ■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテ…
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最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせ…
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顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などに最適
顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などの用途に最適なTHKプレシジョンの「精密機器」ガイドです。 弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ「顕微鏡用ナノ…
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圧電アクチュエータで衝撃力を与えてワークを微調整する電子ハンマーです
「芯打ちアクチュエータ インパクトアシスト」は、圧電アクチュエータを急峻に伸長させたときの慣性力を利用して、 対象物に打撃力を与えて移動させる電子金鎚（ハンマー）です。 圧電アクチュエータに急峻な電…
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