株式会社ＩＢＳ

マイクロニードルバルブ(流量調整弁)『FMNV1シリーズ』

液体でも使用可能！無回転のニードル構造を採用した精密ニードルバルブ

『FMNV1シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用したマイクロニードル バルブです。 スムーズなニードル動作により再現性に優れ、回転数に対しリニアな 流量特性が得られます。 また、ニ…

マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼…

マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』

標準のコネクタと寸法を確保！経済性に優れた高精度ラバーシールモデル

『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により…

マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャ…

デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』

優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します

『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経…

デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優…

ニードルバルブ（流量調整弁）『FMNV2シリーズ』

精密型！パネルマウント取付にも対応のマルチダイヤル付ニードルバルブ

『FMNV2シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用した精密ニードル バルブです。 マルチダイヤル表示付でニードル回転数を常に表示するため、よりシビアな 開度（流量）調整が誰でも簡単におこな…

ダイアフラムポンプ　※振動低減、高温仕様、耐圧防爆型

ガス分析計のサンプリング用途をはじめ、ガスの循環・移送ライン、 真空ポンプ、液体の送液等、様々な用途への提案が可能！

ダイアフラムポンプとは、小型、軽量設計により機器内蔵が容易で、 ガス分析のサンプリング用に適しています。 気液混合エアーにも対応し、液体用としても使用出来ます（自吸式）。 ローエンドモデル、…