株式会社ジェーイーエル ロゴ

株式会社ジェーイーエル

      • ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』 製品画像

        ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

        ウェーハ交換時間の短縮!ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボット

        『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、…

      • プロトスキャリア対応自動移載システム『SSY-20010』 製品画像

        プロトスキャリア対応自動移載システム『SSY-20010』

        ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム

        『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載し…

      • クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』 製品画像

        クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

        半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット!

        『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウ…

      • GCR4210SN(クローズドループ制御) 製品画像

        GCR4210SN(クローズドループ制御)

        ・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現

        低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャ…

      • 落とし込みチャック 製品画像

        落とし込みチャック

        反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。

        反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定…

      • ポーラスチャック 製品画像

        ポーラスチャック

        反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています

        反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています…

      • ベルヌーイチャック(非接触タイプ) 製品画像

        ベルヌーイチャック(非接触タイプ)

        反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

        反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検…

      • ベルヌーイチャック(接触タイプ) 製品画像

        ベルヌーイチャック(接触タイプ)

        反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。

        反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検…

      • エッジグリップチャック 製品画像

        エッジグリップチャック

        裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

        搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく…

      • SWCR3160CS (防水対応) 製品画像

        SWCR3160CS (防水対応)

        3軸円筒座標型クリーンロボット

        防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです(300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付)。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェー…

      • STWHR4156 (防水対応) 製品画像

        STWHR4156 (防水対応)

        防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

        水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気…

      • SSY-11000 製品画像

        SSY-11000

        450mmウェーハ搬送システム

        450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 …

      • SSY-10020 製品画像

        SSY-10020

        ロード/アンロードシステム

        LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェー…

      • SSY-10010 EFEM 製品画像

        SSY-10010 EFEM

        EFEM

        300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして…

      • SAL2041(エッジグリップ仕様) 製品画像

        SAL2041(エッジグリップ仕様)

        ウェーハ用アライナ

        半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします

      • JCT1-0500ティーチングボックス 製品画像

        JCT1-0500ティーチングボックス

        ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。

        3ポジション デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g(ケーブル除く) 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載

      • 反転ユニット 製品画像

        反転ユニット

        両面処理等が必要な装置に適しています。

        小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータド…

      • C4000コントローラ 製品画像

        C4000コントローラ

        半導体用・液晶用の制御開発技術を活かしたコントローラを単体にてご提供

        コンパクト・軽量設計 ステッピングモータ:ユニポーラ・バイポーラ対応 制御インターフェイスはシリアル・パラレル IN 8Bit OUT8bit(I/O拡張も可能)の2種 動作はS字加減速制御によ…

      • 3D-01661吸着チャック 製品画像

        3D-01661吸着チャック

        Y型の真空吸着チャックです。

        ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティング…

      • ロガーシステム 製品画像

        ロガーシステム

        搬送物破損など、エラー発生時の検証を実現しました。

        トラブル発生時前後180秒の動画、通信ログ記録による不良解析に貢献 カメラ最大4台分の画像を常時録画可能 カメラは自由に設置可能 過去48時間分を記録

      • シャーレ搬送ロボット 製品画像

        シャーレ搬送ロボット

        医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

        医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能(本仕様は…

      • TSVCR3060N(2インチウェーハ搬送) 製品画像

        TSVCR3060N(2インチウェーハ搬送)

        真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

        業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット:フットプリント65%(φ95mm), 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能

      • TSCR3060N(2インチウェーハ搬送) 製品画像

        TSCR3060N(2インチウェーハ搬送)

        搬送部の小型化に寄与します。

        業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット:フットプリント75%(□115x130mm), 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能

      • SSY-21000カセット搬送システム 製品画像

        SSY-21000カセット搬送システム

        カセット搬送システム

        チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応

      • SSY-10010プロトスワーク自動移載システム 製品画像

        SSY-10010プロトスワーク自動移載システム

        プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。

        プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカ…

      • SAL1021(2インチウェーハ搬送) 製品画像

        SAL1021(2インチウェーハ搬送)

        搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

        業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気アライナ:フットプリント80%(□85x100mm), 容積比80%ダウン 組み合わせにより、多彩な搬送シーンに貢献 透明体、半透明体にもそれぞ…

      • SSY-10000 製品画像

        SSY-10000

        ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム

        ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本…

      • SAL30J1HV 製品画像

        SAL30J1HV

        ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

        450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも…

      • STCR4160SN(クローズドループ制御) 製品画像

        STCR4160SN(クローズドループ制御)

        ●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現

        スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも…

      • SCR3160CSN (クローズドループ制御) 製品画像

        SCR3160CSN (クローズドループ制御)

        ●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現

        スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも…

      • SAL3481HV(マルチワークアライナ) 製品画像

        SAL3481HV(マルチワークアライナ)

        ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

        各種ウェーハに対応した100~200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ(乳白色)付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発…

      • 【オプション】ベルヌーイピンセット 製品画像

        【オプション】ベルヌーイピンセット

        吸着保持ではないため、ウェーハ破損のリスクを最小限にできます

        「ベルヌーイピンセット」は、薄物ウェーハなどをベルヌーイ保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。 吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。先端部がフレキシブルに動き、平置…

      • 4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000 製品画像

        4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000

        液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

        マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を…

      • 3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ 製品画像

        3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

        S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

        ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被…

      • 4軸円筒座標型クリーンロボット LTHR4000シリーズ 製品画像

        4軸円筒座標型クリーンロボット LTHR4000シリーズ

        液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

        ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能で…

      • 3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ 製品画像

        3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ

        Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

        ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です…

      • ジェーイーエル ソーターシステム6インチ 製品画像

        ジェーイーエル ソーターシステム6インチ

        装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

        ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段(計4個)に配置することで幅方向はインラインタイプの50%に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸…

      • ジェーイーエル ソーターシステム 製品画像

        ジェーイーエル ソーターシステム

        アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

        ソーターシステムは、SEMI Standardに準拠(E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600)しております。アライナにバッファ機能を設け、ウェーハ…

      • 342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ 製品画像

        342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ

        真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

        342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ(化合物半導体、シリコンウエハ等)をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真…

      • 300mm対応光学式アライナ SAL30C1シリーズ 製品画像

        300mm対応光学式アライナ SAL30C1シリーズ

        ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

        300mm対応光学式アライナ SAL30C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。シリコンウェーハのセンタリングとノッチを高速、高精度に位置決めし、…

      • 300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズ 製品画像

        300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズ

        エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

        300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にするこ…

      • 光学式アライナ SAL4381シリーズ 製品画像

        光学式アライナ SAL4381シリーズ

        ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

        光学式アライナ SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高…

      • 光学式アライナ SAL3261GRシリーズ 製品画像

        光学式アライナ SAL3261GRシリーズ

        2インチ,3インチ,100~150mmウェーハのアライメントが可能です

        光学式アライナ SAL3261GRシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。2インチ,3インチ,100~150mmウェーハのアライメントが可能です…

      • 50~100mm対応アライナ SAL2241シリーズ 製品画像

        50~100mm対応アライナ SAL2241シリーズ

        小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

        50mm~100mm対応アライナ SAL2241シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。小径…

      • 光学式アライナ SAL4484シリーズ 製品画像

        光学式アライナ SAL4484シリーズ

        制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

        100mm~200mm対応光学式アライナ SAL4484シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチ…

      1〜45 件 / 全 69 件
      表示件数
      45件

      ジェーイーエルへのお問い合わせ

      お問い合わせ内容をご記入ください。

      至急度必須
      添付資料
      お問い合わせ内容 必須

      あと文字入力できます。

      【ご利用上の注意】
      お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

      はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

      イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

      ※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

      株式会社ジェーイーエル