システム
バルブ・継手関連をコンピュータにて制御するシステム及び、関連機械
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システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1%を実現 ○高性能センサ 低温…
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システム【流量制御機器】FCS Pressure Series
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた…
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システム【切替弁】Stream Switching System
流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。
<特徴> 1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、 閉時に内部に残る不要なガスを排出します。 2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。 3.ベースブロッ…
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