丸菱実業株式会社

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ファイファー社　OmniControl シリーズ　

ファイファー社製新型コントローラです。１～２ch の真空計と真空ポンプ（TMP or ドライポンプ）が１台で起動可能です。

下記真空計が起動可能です。　●ピラニゲージ　●コールドカソードゲージ　●フルレンジCCゲージ　●フルレンジBAゲージ　●キャパシタンスゲージ下記真空ポンプが起動可能です。　…
ライボルト社　TURBOVAC iR シリーズ　ターボ分子ポンプ

1M Gray の放射線環境下で操作が可能なターボ分子ポンプです。

放射線の影響を受ける全ての電子部品を交換し、高い放射線環境下で使用可能な構造にしました。各種排気速度を取り揃え、ケーブル長も最長200mまで可能です。セラミックベアリングを使用し、ベアリン…
ファイファー社製真空計

低真空から高真空までの各種真空計です。 ICFでもISO-KFでも在庫を取り揃えております。

お客様のご要望に合わせた真空計をご提案致します。 ●精密な測定をしたい ●プロセスガスの測定をしたい ●大気圧から高真空まで１台で測定したいなんでもご相談ください。
エドワーズ社高真空排気ユニット　ターボ分子ポンプステーション

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

エドワーズ社製ターボ分子ポンプ排気ユニットです。幅広いアプリケーションで使用できる設計となっており、簡単に使用できます。また、圧力の確認も容易にできます。詳しくはカタログまたは弊社のホーム…
ファイファー社高真空排気ユニット　HiCube

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

世界一のシェアを誇るファイファー社製ターボ分子ポンプ排気ユニットです。幅広いアプリケーションで使用できる設計となっており、簡単に使用できます。また、圧力の確認も容易にできます。詳しくはカタ…
ファイファー社ターボ分子ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

セラミックベアリング型及び磁気浮上型の高性能ターボ分子ポンプです。
エドワーズ社ターボ分子ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

"セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。"
ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。コントローラは、装置組…
ビューポート・ガラスアダプタ

"ICF、ISO-KF、ISO規格の各種ビューポート、ガラスアダプタのご紹介です。"

"ガラスビューポートは、大量生産によりコストダウン致しました。また、ICF規格ビューポートに関しては、非磁性タイプ及び特殊材質のタイプも販売しております。ガラスアダプタに関しては…
ICF規格真空フランジ

"ICF規格真空フランジ及びガスケットのご紹介です。 "

"大量生産により、大幅にコストダウンしました。英国製のためミリ規格。フランジ・変換フランジ・ガスケットなど、各種取り揃えております。価格は弊社ホームページよりご確認ください。
ISO-KF規格真空フランジ

ISO-KF規格の真空フランジ・接続部品のご紹介です。

大量生産により、大幅にコストダウンしました。各種配管部品・フランジ・クランプ・センターリングを取り揃えております。価格は弊社ホームページをご確認ください。
ISO規格真空フランジ

ISO規格の真空フランジ・接続部品のご紹介です。

"大量生産により、大幅にコストダウンしました。各種配管部品・フランジ・クランプ・センターリングを取り揃えております。価格は弊社ホームページからご確認ください。
ICF規格真空配管部品

多種多様なICF規格の真空配管部品のご紹介です。

ティー・クロス等ICFフランジの各種配管や、ICFフランジと他のフランジとのレデューサーなど、各種取り揃えております。材質はSUS304、サイズはICF34～ICF254、表面処理はバフ研磨 …
ISO-KF規格真空配管部品

多種多様なISO-KF規格の真空配管部品のご紹介です。

ティー・クロス等KFフランジの各種配管や、KFフランジと他のフランジとのレデューサーなど、各種取り揃えております。材質はSUS304及びSUS316、サイズはNW16～NW50まであります。 …
ISO規格真空配管部品

多種多様なISO規格の真空配管部品のご紹介です。

ティー・クロス等ISOフランジの各種配管や、フランジ・クロークランプなど、各種取り揃えております。材質はSUS304及びSUS316、サイズはNW63～NW250、表面処理はバフ研磨です。…
ＶＡＴ社ミニＵＨＶゲートバルブ

真空バルブの世界標準、ＶＡＴ社のミニＵＨＶゲートバルブです。

ＶＡＴ社独自のＭＯＮOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。
ミニゲートバルブ（手動式・圧空式）

丸菱実業株式会社のミニゲートバルブ（手動式・圧空式）[SOR用F・C・V　オールメタルバルブ：VAT社]

弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Mar…
高真空ゲートバルブ　Oリング軸シール（手動式・圧空式）

丸菱実業株式会社の高真空ゲートバルブ　Oリング軸シール（手動式・圧空式）[SOR用F・C・V　オールメタルバルブ：VAT社]

弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Mar…
UHVゲートバルブ（手動式・圧空式）

丸菱実業株式会社のUHVゲートバルブ（手動式・圧空式）[SOR用F・C・V　オールメタルバルブ：VAT社]

弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Mar…
バタフライバルブ（手動式・圧空式）

丸菱実業株式会社のバタフライバルブ（手動式・圧空式）[SOR用F・C・V　オールメタルバルブ：VAT社]

弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Mar…
取り付け位置自由小型ターボ分子ポンプ 74FS

オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。

アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。アジレント社独自のTwisTo…
アジレント社製ターボ分子ポンプ 305シリーズ

アジレント社中型ターボ分子ポンプです。ワイヤレス通信で動作設定・モニタリングが可能。かつてない低振動を実現しました。

アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。アジレン…
XGS600　真空計

大気圧から超高真空までの計測が可能！広帯域型の真空計です。

XGS600真空計は色々なタイプのトランスデューサと組み合わせることにより、大気圧から超高真空までの計測が可能です。キャパシタンスダイアフラムゲージによる高精度、耐腐食性の計測もできます。最大12個ま…
高性能バリアブルリークバルブＺLVMシリーズ

バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。

高性能バリアブルリークバルブＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質…
直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズ

真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。

直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズは真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。廉価版から高精度型まで種々取り揃えております。詳しくはお問い合わせください。
直線導入機（中空型） ZLTMシリーズ

各種線源やトランスデューサなどを装着し真空中を移動させられます。

直線導入機（中空型） ZLTMシリーズはチャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続された、中空型の直線導入機です。各種線源や、トランスデューサなどを装着し、真空中を移動させることができ…
回転導入機 ZRDシリーズ

真空チャンバー内で、サンプルや各種コンポーネントを回転させます。

回転導入機 ZRDシリーズは真空チャンバー内で、サンプルや各種コンポーネントを回転させるために使用します。それほど精度を要求されない廉価版から、高精度型まで、各種取り揃えております。詳しくはお問い合わ…
ターボ排気システム　TPS-compact

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

コンパクトで操作性に優れており、低コストでお手軽に高真空環境を提供することができます。幅広いアプリケーションで使用できる設計となっており、簡単に使用できます。また、圧力の確認も容易にできます。…
ドライスクロールポンプ　IDP-3

オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポンプ

「IDP-3」は、革新的なハーメチックデザインにより、モータ及びベアリング部が真空スペースの外側に位置するため、吸引されたガスから完全に隔離することができます。システムへのインテグレーショ…
磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メ…
磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-301

長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！科学機器、半導体…
磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-iX455

磁気軸受け制御方式採用！省スペース、低振動を実現したコントロールユニット一体型。

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-iX455」は、ＤＣ４８Ｖ電源のみで駆動可能なため、従来のタック型コントロールユニット及び接続ケーブルが不要です。また、ディスプレイユニット、電源ユニット…
ドライポンプ　ＧＸＳシリーズ

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業用ドライポンプ。

パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。高効率インバーターモーターの採…
ロータリーポンプ　ＲＶシリーズ

種類が豊富で頑丈！低振動・低ノイズ！卓越した到達真空度を実現！

「RVポンプ」は、良好な排気速度で卓越した到達真空度を実現します。静かな動作で、優れた水蒸気の排出処理能力をも発揮します。当社は近代的量産設備のコンピュータコントロールマシニングセンターを備え…
真空用接着剤　トールシール

超高真空でも使用可能！金属、セラミック、ガラス用接着剤

低蒸気圧樹脂シーラントを使用した、エポキシ系接着剤です。 10-7 Pa 以下の真空でも使用でき、120℃までのベーキングもＯＫです。超高真空内での接着や、真空システムのシール材、漏れ止めなどに…
新型オイルフリー、nXDSシリーズドライスクロール真空ポンプ

"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。また、特許構造により、水蒸気の処理も可能になりました。"

オイル不使用のスクロール真空ポンプ、課題であったメンテナンスコストを半分以下に抑えることを実現しました。従来１年に１回必要であったメンテナンスが、チップシールの磨耗を抑えることで、2年…
真空チャンバー照射用パルスLEDライトシステム

真空装置内の観にくい箇所を明るく照らし出します

"真空装置内のサンプル周りや受け渡しなど、薄暗く確認し難い場所を照らすLEDライトシステムです。フランジのボルトに装着し、チャンバーの外から内部を照らします。低消費電力・高輝度・…
ロータリーポンプコントロールシステム

ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に

"ロータリーポンプをコントロールすることにより、消費電力・振動・発熱量・音響ノイズを低減させる製品です。多くの高真空装置では、高真空ポンプの粗引きとしてロータリーポンプが終夜運転…
各種真空ポンプ　オーバーホール

"粗引きポンプから超高真空用ポンプまで、オーバーホール致します。"

"国内外の各メーカーの真空ポンプを修理・オーバーホール致します。添付資料の修理依頼書に記入の上、ご依頼下さい。事前見積りがご入り用であれば、提出致します。東京・神奈川・茨城地…
アジレント社VHS、HSシリーズ　油拡散ポンプ

大排気量・高真空用の真空ポンプのご紹介です。

"アジレント社製油拡散ポンプは、大排気量・大流量に適した安価な高真空用ポンプです。ガス種によらず、連続で安定した排気が行えます。フランジ口径２インチ～３５インチまで、各種取り…