プラズマ処理装置をはじめ、プラズマクリーナーやプラズマクリーニング装置などをご用意しております。
バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S
価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外は…
枚葉式プラズマ処理装置 WLP-611S、WLP-600S
価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行う事が出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
WLPは多様化したアプリケーションに対応する為、RFパワーを下部電極に印加(RIE方式)又は、上部電極に印加(DP方式)を実現しております。 6~8インチのSi、Poly-Siなどのエッチングやポリ…
バッチ式プラズマクリーナー PT-655S
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、BGA…
御客様仕様カスタム製品 プラズマクリーニング装置
本製品は、お客様の仕様に合わせてカスタマイズした製品の一例です。お客様の使用目的に合わせてカスタマイズ致します。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。 コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モードとRIE(リアクティブイオンエッチング)モードの2つのプラズマモードを切り替えられ、B…
プラズマ処理装置 WLP600S
6インチと8インチのウエハーに対応!平行平板方式のプラズマ処理装置
WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP(ダイレクトプラズマ)モード…
豊富な実績!プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応!】
プラズマ装置の製造実績をいかし、御社のご希望に合わせてプラズマ処理を承ります!小ロット・短納期に対応!
様々な材質を用途に合わせプラズマ処理いたします。 小ロット・短納期で対応可能です。 【用途例】 『洗浄』『表面改質』『接着効果のUP』など、御社のニーズに合わせて処理いたします。 試作用や…
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