横河ソリューションサービス株式会社半導体サービスセンター

当社は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所（産総研）が主導する、次世代の半導体製造工場の実現を目指した国家プロジェクト「ミニマルファブ技術研究組合」に参画しています。ミニマルファブの、装置の製造を除いた、お客様の装置の購入から運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供しています。
　2016年4月、東京都内でミニマルファブに触れていただける「横河ミニマルアプリケーションラボ」が本社構内にオープンいたしました。詳細はカタログページをご覧ください。

・プロセス開発・デバイス試作から、導入コンサルティング、ファブの立ち上げ、運用コンサルティング。保守まですべてを横河ソリューションサービスが一括提供いたします。
・ミニマルファブでは異なるメーカーの様々な装置を組み合わせて使用しますが、問い合わせの窓口は横河1本でOK。